Deep-UV LED epitaksialni susceptor

Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj grafitnih susceptorjev, prevlečenih s silicijevim karbidom, na Kitajskem. Že vrsto let smo proizvajalec in dobavitelj Deep-UV LED Epitaxial Susceptor. Naši izdelki imajo dobro cenovno ugodnost in pokrivajo večino evropskih in ameriških trgov. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Deep-UV LED epitaksialni susceptorji so bistveni za izdelavo LED. Plošča, prevlečena s silicijevim karbidom (SiC) Semicorex, omogoča učinkovitejšo izdelavo visokokakovostnih globokih UV LED rezin. Prevleka SiC je gosta prevleka iz silicijevega karbida (SiC), odporna proti obrabi. Ima visoko odpornost proti koroziji in toploti ter odlično toplotno prevodnost. SiC nanašamo v tankih plasteh na grafit s postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Ne glede na vaše posebne zahteve bomo identificirali najboljšo rešitev za epitaksijo MOCVD ter industrijo polprevodnikov in LED.
Naš epitaksialni susceptor Deep-UV LED je zasnovan za doseganje najboljšega laminarnega vzorca pretoka plina, ki zagotavlja enakomeren toplotni profil. To pomaga preprečiti kakršno koli kontaminacijo ali difuzijo nečistoč, kar zagotavlja visokokakovostno epitaksialno rast na čipu rezin.
Pišite nam še danes, če želite izvedeti več o našem epitaksialnem susceptorju LED z globokimi UV žarki.

Parametri globoko UV epitaksialnega susceptorja LED

Glavne specifikacije prevleke CVD-SIC
SiC-CVD lastnosti
Kristalna struktura	FCC Î² faza
Gostota	g/cm³	3.21
Trdota	Trdota po Vickersu	2500
Velikost zrn	Î¼m	2~10
Kemijska čistost	%	99.99995
Toplotna zmogljivost	J·kg-1 ·K-1	640
Temperatura sublimacije	℃	2700
Feleksuralna moč	MPa (RT 4-točkovno)	415
Youngov modul	Gpa (upogib 4 točke, 1300 °)	430
Toplotna ekspanzija (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Toplotna prevodnost	(W/mK)	300

Značilnosti epitaksialnega susceptorja Deep-UV LED

- Nižje odstopanje valovne dolžine in večji izkoristek odrezkov
- Tako grafitna podlaga kot plast silicijevega karbida imata visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.
- Strožje dimenzijske tolerance vodijo do večjega izkoristka izdelka in nižjih stroškov
- Izogibajte se luščenju in zagotovite premaz na vsej površini
Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah: Stabilen pri visokih temperaturah do 1600°C
Visoka čistost: narejeno s CVD kemičnim nanašanjem iz pare v pogojih visokotemperaturnega kloriranja.
Odpornost proti koroziji: visoka trdota, gosta površina in drobni delci.
Odpornost proti koroziji: kisline, alkalije, sol in organski reagenti.