Aluminijaste vpenjalne glave z obročastimi utori

Semicorex vpenjalne glave z obročastimi utori iz aluminijevega oksida imajo površinsko strukturo, sestavljeno iz serije več koncentričnih obročastih utorov. Ko so povezani z vakuumsko črpalko, ti utori tvorijo obročasta območja podtlaka za stabilno držanje tankih rezin in obdelovancev z natančnim pozicioniranjem. Semicorex vpenjalne glave z obročastimi utori iz aluminijevega oksida delujejo dobro v delovnih pogojih, ki zahtevajo strogo upravljanje ravnosti in enakomerno porazdeljeno adsorpcijsko silo, ki se široko uporabljajo pri držanju rezin, pozicioniranju izpostavljenosti, plazemskem jedkanju, pa tudi pri pregledu rezin in postopkih prenosa.

Prednosti aluminijevega oksida Semicorex z obročastimi utori

1. Izjemna odpornost na visoke temperature

Keramika iz aluminijevega oksida, izdelana s sintranjem z zgoščevanjem, ima izjemno toplotno zmogljivost. Zaradi te lastnosti materiala vpenjalne glave Semicorex z obročastimi utori iz aluminijevega oksida delujejo stabilno v ekstremno visokotemperaturnih delovnih okoljih brez strukturnih deformacij in poslabšanja delovanja pri dolgotrajni uporabi.

2. Enotna adsorpcijska sila

Semicorex obročasto nažlebljenvpenjalne glave iz aluminijevega oksidaimajo na svoji adsorpcijski površini več obročastih utorov, v katerih se oblikujejo stabilne obročaste vakuumske cone. Ta konfiguracija omogoča dosledno adsorpcijsko silo na glavnih kontaktnih območjih rezin, kar tako znatno zmanjša delno deformacijo in zvijanje rezin.

3. Vrhunska strukturna stabilnost in visoka natančnost ponavljajočega se pozicioniranja

Vpenjalne glave Semicorex z obročastimi žlebovi iz aluminijevega oksida, ki se ponašajo z vrhunsko togostjo materiala in strukturno stabilnostjo, lahko dolgo časa ohranjajo odlično ravnost in dosledno natančnost pozicioniranja med ponavljajočimi se operacijami vakuumskega vpenjanja.

4. Močna kemična odpornost proti koroziji

zaradialuminijev oksidZaradi zanesljive kemične stabilnosti so vpenjalne glave Semicorex z obročastimi utori iz aluminijevega oksida izjemno odporne na večino kislih in alkalnih snovi ter različne korozivne procesne pline in so zelo prilagojene na zahtevne korozivne pogoje delovanja.

5. Odlična čistoča

Zahvaljujoč strogemu nadzoru čistosti materiala in obdelavi za zgoščevanje, vpenjalne glave Semicorex z obročastimi utori iz aluminijevega oksida med uporabo redko oddajajo delce ali sproščajo nečistoče, kar v celoti izpolnjuje stroge standarde nizke kontaminacije v čistih prostorih za polprevodnike.

Zakaj izbrati Semicorex?

Kot vodilno podjetje v panogi na Kitajskem je Semicorex podprt z integriranimi proizvodnimi linijami in dobro izkušeno tehnično ekipo. Našim strankam lahko ponudimo prilagojeno tehnično podporo in optimizirane procesne rešitve ter jim zagotovimo nestandardno izdelavo po meri naših vpenjal z obročastimi utori iz aluminijevega oksida glede čistosti materiala, oblike vpenjal, dimenzij, ravnosti, toleranc in drugih zahtev.