Končni efektor iz aluminijevega oksida

Izbira materiala za končni efektor iz aluminijevega oksida Semicorex temelji na edinstveni primernosti keramike iz aluminijevega oksida visoke čistosti za težka okolja, ki se pojavljajo pri izdelavi polprevodnikov: 

Izjemna čistost za nadzor kontaminacije: Končni efektor iz aluminijevega oksida, ki ima kot substrat keramiko iz aluminijevega oksida visoke čistosti, je značilen po izjemno nizkih stopnjah nečistoč, kar zagotavlja, da ne bo vnesel kontaminantov, ki bi lahko ogrozili električne lastnosti ali delovanje občutljivih polprevodniških naprav.

Visokotemperaturna stabilnost za vsestranskost postopka:Končni efektor iz aluminijevega oksida izkazuje odlično toplotno stabilnost, ohranja svojo strukturno celovitost in dimenzijsko natančnost tudi pri povišanih temperaturah, do katerih pride pri procesih, kot so toplotna oksidacija, difuzija in kemično nanašanje s paro.

Kemijska inertnost za težka okolja:Zaradi svoje lastne kemične odpornosti končnega efektorja iz aluminijevega oksida je neprepusten za široko paleto kislin, baz in topil, ki se običajno uporabljajo pri obdelavi polprevodnikov. Ta inertnost preprečuje korozijo ali degradacijo končnega efektorja, kar zagotavlja njegovo dolgoročno delovanje in zmanjšuje tveganje kontaminacije z delci.

Robustne mehanske lastnosti za podaljšano življenjsko dobo:Keramika iz aluminijevega oksida je znana po svoji trdoti, odpornosti proti obrabi in sposobnosti, da prenese ponavljajoče se cikle rokovanja in čiščenja brez degradacije. Ta robustnost pomeni podaljšano življenjsko dobo končnega efektorja iz aluminijevega oksida, kar zmanjša stroške zamenjave in čas izpada.

Zaradi natančnosti, čistosti in vzdržljivosti končnega efektorja iz aluminijevega oksida je postal bistvena komponenta v številnih kritičnih proizvodnih procesih polprevodnikov:

Fotolitografija:Natančna poravnava in postavitev rezin sta najpomembnejši pri fotolitografiji, kjer lahko že majhna odstopanja povzročijo napake pri neusklajenosti in okvaro naprave. Končni efektor iz aluminijevega oksida zagotavlja potrebno natančnost in stabilnost za ta kritični procesni korak.

Kemijska mehanska planarizacija (CMP):Sposobnost, da prenese kemično agresivne suspenzije in mehanske sile, vključene v CMP, naredi končni efektor iz aluminijevega oksida idealen za ravnanje z rezinami med tem kritičnim procesom, ki izravna površino rezin za kasnejše plastenje.

Inšpekcija rezin in meroslovje:Končni efektor iz aluminijevega oksida ne onesnažuje in ne poškoduje, zaradi česar je idealen za ravnanje z rezinami med inšpekcijskimi in meroslovnimi postopki, kar zagotavlja natančne meritve in zmanjšuje tveganje vnašanja napak.