Vertikalni čolni iz kremena

V postopkih izdelave polprevodnikov morajo polprevodniške komponente v reakcijski komori izpolnjevati stroge standarde visoke čistoče. V nasprotnem primeru lahko celo nečistoče ali kontaminanti v mikro- ali nano-razmerju povzročijo nepopravljivo škodo na delovanju in izkoristku polprevodniških naprav.

Čolni iz kvarčnih napolitankso običajno nameščeni navpično v visokotemperaturnih reakcijskih komorah, kot so difuzijske peči, oksidacijske peči in peči za žarjenje, kjer morajo biti v neposrednem stiku z rezinami. Semicorexovi navpični čolni iz kremenčevih rezin so izdelani iz kremenčevih materialov visoke čistosti, da zadostijo tem zahtevam visoke čistoče. Ta modra izbira materiala učinkovito preprečuje kontaminacijo rezin, ki jo povzročajo reaktanti, ki se sproščajo iz rezin med proizvodnim procesom.

V proizvodnji polprevodnikov morajo biti rezinski čolni podvrženi ne le ponavljajočim se ciklom segrevanja in hlajenja, temveč tudi vzdržati korozijo procesnih plinov v daljšem časovnem obdobju. Semicorexov vertikalni kremenoblatčolni izkazujejo izjemno dimenzijsko stabilnost v zahtevnih delovnih pogojih nenehnega termičnega kroženja zaradi svoje inherentne toplotne stabilnosti. Te vrhunske toplotne lastnosti znatno preprečujejo deformacijo rezin in poškodbe, ki jih povzroči degradacija natančnosti ali strukturna deformacija navpičnih kremenčevih rezin. Še več, zahvaljujoč visoki kemični inertnosti so navpični čolni iz kremenčevih rezin lahko odporni na reakcijo z jedkimi plini, kot so kisik, vodna para, vodikov klorid in amoniak. Ta lastnost močno zmanjša možnost, da bi kemična korozija ogrozila strukturno celovitost navpičnih čolnov iz kremenčevih rezin.

Poleg zgoraj omenjenih prednosti zmogljivosti Semicorexovi navpični čolni iz kvarčnih rezin izkazujejo tudi odlično konkurenčnost v dimenzijski natančnosti in konstrukcijski zasnovi. Vsak njihov del je izdelan s tehnikami natančne strojne obdelave. Ta natančen nadzor dimenzij zagotavlja natančno pozicioniranje rezin, zmanjševanje prask in razpok, ki jih povzročijo premiki ali trki med nalaganjem, obdelavo in razkladanjem.