Teflonske kasete

Porekovane teflonske kasete so visokozmogljive nosilce rezin, ki so posebej zasnovani za uporabo v zahtevnih kemičnih okoljih, kjer so čistost, kemična odpornost in toplotna stabilnost bistveni. Te kasete, narejene iz politetrafluoroetilena (PTFE), se te kasete pogosto uporabljajo pri proizvodnji polprevodnikov, mokrem jedkanju, kemičnem čiščenju in drugih aplikacijah, kjer je izpostavljenost visoko agresivnim kemikalijam rutinska. Njihova nereaktivna narava je idealna za ravnanje z občutljivimi podlagami, kot so silicijeve rezine, steklene plošče in druge natančne komponente, ne da bi v postopek vneseli kontaminacijo ali delce.

V različnih procesih proizvodnje polprevodnikov, kot so litografija, jedkanica in ionska implantacija, igrajo kasete vlogo pri prevozu in prenosu rezin med različnimi napravami. Različna procesna oprema ima lahko različne potrebe po kasetah, da se zagotovi natančno sprejemanje in namestitev nosilcev rezin.

Z vidika materiala in oblikovanja imajo materiali, ki so toplotno odporni, odlične mehanske lastnosti, dimenzijske stabilnosti in so trpežni, antistatični, nizki izlivi, nizke padavine in reciklirane. Različne velikosti rezin, procesna vozlišča in procesi uporabljajo različne materiale. Splošni materiali so PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP itd.

Teflonske kasete ponujajo vrhunsko kemično odpornost v okoljih z uporabo hidrofluorovodikove kisline, dušikove kisline, žveplove kisline in drugih močnih korozivov. Za razliko od običajnih materialov, kot sta polipropilen ali nerjavno jeklo, se PTFE ne razgradi; ne nabrekne; v ostrih kemičnih kopelih ne izpušča snovi. Učinkovitost je zato zagotovljena v dolgih obdobjih, zato je kaseta zanesljivost za proizvodne linije z visoko prepustnostjo in ultra-čistični okolje. Njegova robustnost pomeni manjše potrebe po vzdrževanju in frekvenco nadomestitve, s čimer se zmanjša dolgoročne obratovalne stroške.

Teflonske kasete kažejo zelo visoko toplotno stabilnost. Z lahkoto prenesejo temperature od -200 ° C do +260 ° C, ki veljajo tako za kriogene kot tudi za visokotemperaturne procese. Celo nameščene v ogrevanih sušilnih komorah ali hladnih kemičnih kopelih, kasete ne izgubijo strukturne trdnosti; Ne prekrivajo ali razpokajo, in zagotavljajo, da bodo rezine med predelavo ostale varno. Ta temperaturna odpornost znatno prispeva k nadzoru obdelave in enakomernosti, ki sta ključnega pomena za izdelavo polprevodnikov in MEMS.

Enako pomembna značilnost teflonskih kaset je njegova inertna, nelepša površina. PTFE sam po sebi ne dovoljuje adsorpcije delcev in kemičnih ostankov, zato zmanjšuje tveganja kontaminacije v čistih okoljih. To je treba povezati z gladko površinsko obdelavo, ki omogoča enostavno izpiranje in hitro sušenje, s čimer sta čistejša rezultate in hitrejši čas cikla. Pri polprevodniški obdelavi, kjer lahko okvare povzročijo celo mikroskopski onesnaževalci, je ta čistoča in raven kemične inertnosti obvezna.

Vsaka kaseta je natančno narejena tako, da tolerance tesne velikosti zagotavljajo stalno poravnavo in razmik med premikanjem in postavljanjem v tekočino. Njihova enostavno oblikovana oblika pomaga hitrem kemičnem pretoku in odtoku, kar pospeši kemijske menjalne tečaje in izboljša čiščenje ali jedkanje enakomernosti na površini rezin.  Kasete so na voljo v standardnih velikostih za 4-palčne, 6-palčne in 8-palčne rezine, na voljo so možnosti prilagajanja, ki ustrezajo določenim dimenzijam podlage, številom reže in zahtevam ravnanja.

Teflonske kasete, zasnovane za združljivost z avtomatiziranimi mokrimi klopi in sistemi za ravnanje z robotskimi rezinami, se zlahka vključijo v večino nastavitev proizvodnje polprevodnikov. Njihova robustna konstrukcija in zaključek čistega prostora ustrezajo strogim zahtevam ISO certificiranega okolja. Vse kasete temeljijo na temeljitem pregledu in so predhodno očiščene v ultra-vodni vodi, da ustrezajo standardom čistoče, potrebne za napredno proizvodnjo mikroelektronike. Za zagotovitev skladnosti s protokoli za zagotavljanje kakovosti se lahko zagotovijo potrdila o skladnosti in popolni materialni sledljivosti.