Grafit s prevleko TaC je ustvarjen s prevleko površine grafitne podlage visoke čistosti s fino plastjo tantalovega karbida z lastniškim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD).
Tantalov karbid (TaC) je spojina, ki je sestavljena iz tantala in ogljika. Ima kovinsko električno prevodnost in izjemno visoko tališče, zaradi česar je ognjevzdržen keramični material, znan po svoji trdnosti, trdoti ter odpornosti na toploto in obrabo. Tališče tantalovih karbidov doseže vrh pri približno 3880 °C, odvisno od čistosti, in ima eno najvišjih tališč med binarnimi spojinami. Zaradi tega je privlačna alternativa, ko višje temperaturne zahteve presegajo zmožnosti delovanja, ki se uporabljajo v epitaksialnih postopkih sestavljenih polprevodnikov, kot sta MOCVD in LPE.
Podatki o materialu Semicorex TaC Coating
Projekti |
Parametri |
Gostota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivnost |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Trdota (HK) |
2000 |
Upor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Toplotna stabilnost |
<2500 ℃ |
Sprememba dimenzij grafita |
-10~-20um (referenčna vrednost) |
Debelina prevleke |
Tipična vrednost ≥20um (35um±10um) |
|
|
Zgoraj navedene so tipične vrednosti |
|
Semicorex TaC prevlečen porozni grafit je napreden material visoke čistosti za obdelavo polprevodnikov. Ta ključni del opreme ima ključno vlogo v procesu rasti monokristalnega SiC. Semicorex je zavezan zagotavljanju kakovostnih izdelkov po konkurenčnih cenah, veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner na Kitajskem.
Preberi večPošlji povpraševanjeKot profesionalni proizvajalec bi vam radi ponudili obroče s prevleko iz TaC. Predstavljamo CVD Tac Coated Ring, najsodobnejšo rešitev za polprevodniško opremo. Ta vrhunski izdelek se ponaša z napredno prevleko s kemičnim naparjevanjem (CVD), ki zagotavlja izjemno vzdržljivost in odpornost proti obrabi.
Preberi večPošlji povpraševanjePredstavljamo lonček s prevleko CVD Tac, popolno rešitev za proizvajalce polprevodniške opreme in uporabnike, ki zahtevajo najvišjo raven kakovosti in zmogljivosti. Naši lončki so prevlečeni z najsodobnejšo plastjo CVD Tac (tantalov karbid), ki zagotavlja vrhunsko odpornost proti koroziji in obrabi, zaradi česar so idealni za uporabo v različnih aplikacijah polprevodnikov.
Preberi večPošlji povpraševanje