Kitajska SiC substrat Proizvajalci, dobavitelji, tovarna

Tanka rezina polprevodniškega materiala se imenuje rezina, ki je sestavljena iz zelo čistega monokristalnega materiala. V procesu Czochralskija se cilindrični ingot izredno čistega monokristalnega polprevodnika izdela tako, da se zarodni kristal izvleče iz taline.

Silicijev karbid (SiC) in njegovi politipi so že dolgo del človeške civilizacije; tehnični pomen te trde in stabilne spojine sta leta 1885 in 1892 ugotovila Cowless in Acheson za namene brušenja in rezanja, kar je vodilo v njeno proizvodnjo v velikem obsegu.

Zaradi odličnih fizikalnih in kemijskih lastnosti je silicijev karbid (SiC) pomemben kandidat za različne aplikacije, vključno z visokotemperaturnimi, visokozmogljivimi in visokofrekvenčnimi ter optoelektronskimi napravami, strukturno komponento v fuzijskih reaktorjih, materialom za obloge za plinsko hlajene naprave. fisijski reaktorji in inertna matrika za transmutacijo Pu. Različni poli-tipi SiC, kot so 3C, 6H in 4H, so bili široko uporabljeni. Ionska implantacija je kritična tehnika za selektivno uvajanje dopantov za proizvodnjo naprav na osnovi Si, za izdelavo rezin SiC p-tipa in n-tipa.

Ingotse nato nareže, da nastanejo rezine SiC iz silicijevega karbida.

Lastnosti materiala silicijevega karbida

Različne vrste SiC rezin

Obstajajo tri vrste:n-vrsta sic rezina, p-tip sic rezininpolizolacijska sic rezina visoke čistosti. Doping se nanaša na ionsko implantacijo, ki vnese nečistoče v kristal silicija. Ti dopanti omogočajo atomom kristala, da tvorijo ionske vezi, zaradi česar je nekoč intrinzični kristal ekstrinzičen. Ta proces uvaja dve vrsti nečistoč; N-tip in P-tip. "Tip" postane odvisen od materialov, uporabljenih za ustvarjanje kemične reakcije. Razlika med rezinami SiC tipa N in P je primarni material, ki se uporablja za ustvarjanje kemične reakcije med dopiranjem. Odvisno od uporabljenega materiala bo zunanja orbitala imela pet ali tri elektrone, od katerih bo eden negativno nabit (N-tip) in en pozitivno nabit (P-tip).

Rezine SiC tipa N se uporabljajo predvsem v novih energetskih vozilih, visokonapetostnem prenosu in transformatorskih postajah, beli tehniki, hitrih vlakih, motorjih, fotonapetostnih pretvornikih, impulznih napajalnikih itd. Imajo prednosti zmanjšanja izgube energije opreme, izboljšanja zanesljivost opreme, zmanjšanje velikosti opreme in izboljšanje zmogljivosti opreme ter imajo nenadomestljive prednosti pri izdelavi močnostnih elektronskih naprav.

Polizolacijska SiC rezina visoke čistosti se uporablja predvsem kot substrat RF naprav visoke moči.

Epitaksija - nanašanje nitridov III-V

SiC, GaN, AlxGa1-xN in InyGa1-yN epitaksialne plasti na SiC substratu ali safirnem substratu.