Posemini rezili EPI SIC postajajo ključno gradivo za spodbujanje tehnoloških inovacij v scenarijih z visoko frekvenco, visoko temperaturo in visoko močjo zaradi svojih odličnih fizikalnih lastnosti. Polmični EPI EPI redi, ki uporabljajo tehnologijo epitaksialne rasti v industriji in so zasnovani tako, da zadovoljijo potrebe novih energetskih vozil, 5G komunikacije, obnovljive energije in industrijske oskrbe z električno energijo, ki kupcem zagotavlja visoko učinkovito, visoko zanesljivo jedro polprevodniških rešitev.******
Polmični sic EPI rezine so rezine s plastjo sic posameznega kristalnega filma, ki se goji na površini substrata z odlaganjem kemičnega hlapa (CVD). Njegova vrsta dopinga, koncentracijo dopinga in debelina je mogoče natančno nadzorovati glede na zahteve za oblikovanje naprave. Je temeljna komponenta funkcionalnega območja naprave.
Ključne značilnosti SIC EPI rezin
Učinkovitost epitaksialnih rezin je določena z naslednjimi značilnostmi:
Doping likov:
SIC EPI rezine dosežejo potrebne električne lastnosti z natančnim nadzorom dopinške koncentracije (N-tip ali P-tip), koncentracijska enakomernost pa je ključni kazalnik.
Nadzor debeline:
Glede na zahteve za oblikovanje naprave lahko debelina epitaksialne plasti giblje od nekaj mikronov do več deset mikronov. Na primer, visokonapetostne naprave potrebujejo debelejše epitaksialne plasti, da podpirajo višje razpadne napetosti.
Kakovost površine:
Površinska plodnost epitaksialne plasti neposredno vpliva na natančnost proizvodnje naprave. Nanoskalna površinska hrapavost in nizka gostota napak sta ključni zahtevi za epitaksialne rezine.
Glavni postopek priprave sic EPI rezin
Proizvodnja epitaksialnih rezin se doseže predvsem s tehnologijo KVB. Vir ogljika in plini iz silicijevega izvora reagirajo pri visoki temperaturi in se odlagajo na površini podlage, da tvorijo epitaksialno plast.
Vpliv parametrov procesa:
Temperatura, pretok plina, atmosfera in drugi dejavniki neposredno vplivajo na debelino, enotnost dopinga in kakovost površine epitaksialne plasti.
Osrednja vloga rezin Sic Epi
Epitaksialne rezine igrajo odločilno vlogo v naprav SIC: kot aktivno območje: zagotovite potrebne električne lastnosti, kot je tvorba trenutnih kanalov ali PN stičišč. Določite uspešnost naprave: kot so ključni parametri, kot sta razpadna napetost in odpornost.
Aplikacije na več poljih sic Epi rezin
Nova energetska vozila: dvoposteljni motor za vzdržljivost in zmogljivost
Ker globalna avtomobilska industrija pospešuje svojo preobrazbo v elektrifikacijo, je optimizacija uspešnosti novih energetskih vozil postala osredotočenost med večjimi proizvajalci avtomobilov. SIC EPI rezine imajo pri tem nepogrešljivo vlogo. V osrednji komponenti novih energetskih vozil - sistema motornega pogona, napajalne naprave, ki temeljijo na epitaksialnih rezinah silicijevega karbida. Doseže lahko večje frekvenčne preklopne ukrepe, znatno zmanjša izgube preklopa in močno izboljša učinkovitost obratovanja motorja. To je kot vbrizgavanje močnega vira moči v avtomobil, ki ne samo učinkovito poveča območje križarjenja vozila, ampak tudi omogoča, da vozilu bolje deluje v pogojih, kot sta pospeševanje in plezanje. Na primer, ko nekatera električna vozila višjega cenovnega razreda sprejmejo module silicijevega karbida, se lahko vožnji poveča za 10% - 15%, čas polnjenja pa se lahko močno skrajša, kar uporabnikom prinaša veliko udobje in boljše vozne izkušnje. Hkrati zaradi polnilnikov na vozilu (OBC) in sistemih za pretvorbo energije (DC-DC) uporaba epitaksialnih rezin iz silicijevega karbida naredi tudi učinkovitejše, manjše velikosti in lažje teže, kar pomaga pri optimizaciji celotne strukture avtomobila.
Power Electronics: Temelj gradnje pametnega in učinkovitega omrežja
Na področju električne energije SIC EPI rezine pomagajo gradnji pametnih omrežij, da dosežejo nove višine. Tradicionalne električne naprave, ki temeljijo na siliciju, postopoma razkrivajo svoje omejitve zaradi naraščajočega povpraševanja po prenosu moči in pretvorbe. Epitaksialne rezine iz silicijevega karbida z odličnimi visokonapetostnimi, visokotemperaturnimi in visoko moči nudijo idealno rešitev za nadgradnjo električne opreme. V povezavi za prenos moči lahko naprave za silicijevo karbid prenašajo električno energijo na dolge razdalje z večjo učinkovitostjo in tako zmanjšajo izgubo energije med postopkom prenosa, tako kot tlakovanje neovirane "avtoceste" za električno energijo, kar močno izboljša zmogljivost prenosa energije in stabilnost električnega omrežja. Glede na pretvorbo in distribucijo električne energije lahko uporaba epitaksialnih rezin iz silicijevega karbida v elektronskih transformatorjih, reaktivnih kompenzacijskih napravah in druga oprema v podstanicah natančneje nadzoruje parametre električne energije, uresniči inteligentno regulacijo električnega omrežja, učinkovito izboljša zanesljivost in kakovost energije v naši proizvodnji električnega omrežja.