Polprevodniški kremenčevi lončki

Polprevodniški kremenčevi lončki polprevodnikov so potrošni proizvodi v industriji polprevodnikov, posebej za kremenčeve lončke, ki se uporabljajo v procesu vlečenja kristala silicijevega enojnega kristalnega izdelave. Izdelani so iz ultra-pure fused kremena, ki zadovoljuje čistočo, homogenost in toplotno odpornost in so izdelani tako, da ustrezajo velikim potrebam sodobne proizvodnje polprevodnikov. Za specifikacijo silicijevega ingota so ključnega pomena, ker njihovi atributi neposredno vplivajo na delovanje rezin in donos pri integrirani obdelavi vezja.

S toplotnega in fizikalnega vidika: kremenčevi lončki lahko zelo dobro prenesejo toploto. Deformacijska točka je približno 1100 ° C, mehčanja točka je približno 1730 ° C, največja neprekinjena temperatura servisa pa 1100 ° C, [kratkoročna izpostavljenost do 1450 ° C]. Te lastnosti omogočajo uporabnost pri visokih temperaturah, hkrati pa zagotavljajo visoko čistost in toplotno odpornost, zato spodbujajo stabilnost med procesom vlečenja kristalov Czochralski (CZ), kjer je treba kontaminacijo in deformacijo zmanjšati, in natančni termični profili so najpomembnejši do pridobivanja homogene rasti kristal.

S strukturne perspektive polprevodniški kremenčevi lončki so sestavljeni iz večplastne sestavljene strukture, zasnovane za toplotne lastnosti in mehansko trdnost. Začetna (premikanje navznoter) je prozorna kremenčeva plast, ki je na splošno tretjina debeline stene (približno 3–5 mm) in ima sorazmerno nizko vsebnost mehurčkov (odvisno od tehnike obdelave), zato bo gladka površina brez okvare v stiku s površino molten silikon in zagotovitev kontaminacije.

Zunanjost je večplastna z večjo stopnjo mehurčkov, ki prispevajo k moči deformacije lončkov, večji odpornost na toplotno napetost in toplotno izolacijo iz vira toplote za enakomernost sevanja. Plasti lončka mu omogočajo, da ohrani obliko in celovitost, kljub stopnji diferencialnim toplotnim gradientom, ki obstajajo v procesu vlečenja kristala.

Sodobni kremenčevi lončki so se zaradi napredka v proizvodni tehnologiji razvili dlje od tradicionalne dvoslojne strukture. Številni lončki uporabljajo triplastno strukturo-prozorno notranjo plast, prozorno srednjo plast, ki ima mehurčke, razpršene skozi kremen, in zunanjo tanko plast mehurčka. Trislojne strukture ponujajo boljšo mehansko trdnost, toplotno upravljanje in stroškovne koristi ter izboljšujejo značilnosti prenosa toplote. Tudi nekatere lončke nanesejo prevleke alkalijskih kovinskih ionov (npr. Barijevih ionskih raztopin) na najbolj notranji površini ali pa v določenih plasteh uporabljajo sintetični kremen z visoko čistostjo, da bi zmanjšali vsebnost kisika, izčrpavali čistosti in izboljšali splošno kakovost potegnjenih posameznih kristalov.

Proizvodne kremenčeve lončeve za polprevodnike naj bi bile za stroge tolerance nadzora kakovosti pri potrebnih čistostih, kar je običajno več delov na milijardo kovinskih nečistoč. Surovine so skrbno izbrane in očiščene, da odstranijo kontaminante. Nastajajo v grobih dimenzijah, s pravilno nanesenimi toplotnimi obdelavi in ​​površino, ki je končan za obravnavo dimenzijske natančnosti, mehanske trdnosti in čistosti. Postopek je usmerjen v zagotovitev, da bodo lončki ostali zanesljivi, medtem ko bodo podvrženi dolgotrajni visokotemperaturni izpostavljenosti v ostrih kemičnih okoljih.

Učinkovitost kremenčevega lončka v proizvodnji polprevodnika vpliva na enotnost silicijeve kristalne rešetke, gostoto napak in kisik v ingotu. Visoke čistosti in kremenčeve lončke brez napak bodo omejile dislokacijo kristalnih napak, povečale hitrost donosa in vzpostavile sposobnost ustvarjanja rezin za napredovanje geometrij naprav. Če ste proizvajalec HGH-uspešnosti ICS, fotonapetostni silicij ali elektronike, je izbira in uporaba kremenčevih križic visoke kakovosti ključni element za vzpostavitev in optimizacijo stroškovne uspešnosti.

PolkemPolprevodniški kremenCrucibles so bistveni pomožni material za kateri koli sistem vlečenja silicijevega kristala. Edinstveni atributi čistosti, visoke temperaturne stabilnosti in lastniške večplastne strukture so to primeren material za podporo strogosti procesa vlečenja CZ, hkrati pa zagotavljajo dosledne in ponovljive zmogljivosti. Ko se polprevodniška proizvodnja premika k večji integraciji in strožjim tolerancam, bodo pomembne koristi z natančno inženirskimi kremenčevimi lončicami, ki so bile dodane vrednosti, dale večji pomen za omogočanje in razvoj elektronskih tehnologij naslednje generacije.