Polprevodniški grafitni grelec Semicorex je visoko učinkovita grelna naprava iz visokokakovostnega izostatičnega grafita. Široko se uporablja v ključnih procesnih povezavah proizvodnje polprevodnikov, kot so termično polje peči za rast kristalov, postopki epitaksialne rasti, oprema za ionsko implantacijo, oprema za plazemsko jedkanje in proizvodnja kalupov za sintranje polprevodniških naprav.
Polprevodnikgrafitni grelecje napredna grelna naprava iz izostatičnega grafitnega materiala visoke čistosti. Njegova odlična električna prevodnost in toplotna prevodnost zagotavljata natančen nadzor temperature in enakomerno porazdelitev toplote za rast in obdelavo polprevodniških materialov. Ko gre električni tok skozi grelec, premaga notranji električni upor grafita, pretvori električno energijo v toploto, dvigne temperaturo grafita in doseže segrevanje. Natančen nadzor temperature je običajno mogoče doseči s prilagajanjem jakosti električnega toka in upora grelca.
Semicorex skrbno izbrana visoka čistostizostatični grafitima odlično toplotno prevodnost, kar mu omogoča hiter in enakomeren prenos toplote v vsak kotiček ogrevalne površine, kar učinkovito preprečuje lokalno pregrevanje.
Izostatični grafit visoke čistosti ohranja stabilne fizikalne in kemične lastnosti, tudi če je izpostavljen ekstremno visokim temperaturam, kot je ablacija ultravisokih temperatur. Močna vročina bi običajno povzročila taljenje, deformacijo ali oksidacijo materialov, vendar se ta vrsta grafita lahko upre tem spremembam. Zaradi tega je zelo primeren za visokotemperaturne procese v proizvodnji polprevodnikov, vključno z vlečenjem monokristalnega silicija in rastjo kristalov silicijevega karbida.
Za polprevodniški grafitni grelec je značilna energetska učinkovitost. Ne zahteva predgretja, hitro doseže nastavljeno temperaturo in dosega opazne prihranke energije v primerjavi s klasičnimi grelci. Njegova visoka učinkovitost toplotne pretvorbe učinkovito zmanjša porabo energije, s čimer doseže varčevanje z energijo in zmanjšanje porabe. Med delovanjem ne proizvaja nobenih onesnaževal ali izpušnih plinov, kar izpolnjuje okoljske zahteve.
Poleg tega se polprevodniški grafitni grelnik ponaša z dolgo življenjsko dobo. Izostatični grafit visoke čistosti jim daje vrhunsko mehansko trdnost, močno odpornost proti koroziji in odlično odpornost na toplotne udarce. So manj dovzetni za dejavnike, kot so visoke temperature in kemična korozija, kar omogoča podaljšano življenjsko dobo.