Polprevodniške kvarčne difuzijske cevi

Polprevodniške difuzijske cevi Semicorex so bistvene kvarčne komponente, katerih cilj je zagotoviti čist in stabilen reakcijski prostor za proizvodnjo polprevodniških rezin. S svojimi obsežnimi in dokazanimi proizvodnimi zmogljivostmi lahko Semicorex našim cenjenim strankam zagotovi zelo združljive, po meri izdelane kvarčne difuzijske cevi polprevodniškega razreda.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Čolni iz kvarcase običajno uporabljajo v pogojih delovanja pri visokih temperaturah in ostri kemični koroziji. Med delovanjem se polprevodniške rezine namestijo v kremenčev čoln in vstavijo v kvarčno difuzijsko cev. Ko difuzijska cev doseže zahtevano temperaturo (nekaj sto do več tisoč stopinj Celzija), se procesni plini (npr. O₂, N₂, H₂, Ar) in dopantni plini (npr. POCl₃, BBr3) vnesejo v kvarčno difuzijsko cev skozi plinske odprtine, da izvedejo oksidacijo, difuzijo in žarjenje na polprevodniške rezine. Poleg tega je treba za izboljšanje enotnosti in natančnosti difuzije nekatere postopke difuzije izvajati v okolju z nizkim tlakom.

V naprednih postopkih izdelave polprevodnikov lahko vsaka manjša napaka ali pomanjkljivost v teh postopkih povzroči neuspeh nadaljnjih procesov. Zato je kakovost kremenčevih difuzijskih cevi kot ključnih delov proizvodnje polprevodnikov zelo pomembna in neposredno vpliva na izkoristek in zmogljivost polprevodniških naprav.

Specifikacije Semicorexa Polprevodniški kvarc

Polprevodniške kvarčne difuzijske cevi Semicorex so natančno izdelane iz visokokakovostnihpolprevodniški kremenmaterial. Sledijo njegovi posebni parametri:

Parametre je mogoče prilagoditi glede na zahteve kupca.

Zmogljivost kvarčnih difuzijskih cevi Semicorex Semicorex Grade Quartz

Zanašajoč se na našo izkušeno tehnologijo obdelave in zanesljivo izbiro materialov, polprevodniški razred Semicorexkvarčne difuzijske cevidokazati vrhunsko zmogljivost v zahtevnih pogojih delovanja:

1. Visokotemperaturna odpornost

Polprevodniške kvarčne difuzijske cevi Semicorex zagotavljajo izjemno odpornost na visoke temperature, kar jim omogoča stabilno delovanje v visokotemperaturnih okoljih do 1200 ℃ brez kakršnih koli deformacij ali poškodb.

2. Toplotna stabilnost

Polprevodniške kvarčne difuzijske cevi Semicorex, ki se ponašajo z izjemnim koeficientom toplotnega raztezanja, lahko prenesejo toplotne obremenitve med hitrim segrevanjem ali ohlajanjem, ne da bi zlahka počile ali se deformirale.

3. Kemična odpornost

Polprevodniške kvarčne difuzijske cevi Semicorex zagotavljajo vrhunsko kemično inertnost v visokotemperaturnih, ostrih korozivnih okoljih. Ta zmogljivost močno preprečuje, da bi onesnaževalci, ki nastanejo pri njihovi reakciji s procesnimi plini, vplivali na kakovost rezin.