Polmok togi grafitni klobuk je visokozmogljiv toplotni izolacijski material, narejen iz ogljikovih vlaken na osnovi PAN in viskoze, ki se pogosto uporablja v visokotemperaturnih industrijskih pečh. Izberite Semicorex za svoje napredne proizvodne procese in dokazano strokovno znanje pri zagotavljanju trajnih in zanesljivih rešitev za zahtevne uporabe polprevodnikov.*
Togi grafitni klobuk se lahko tvori z mehkim iz filca laminiranja in mokrega oblikovanja. Skupna metoda laminiranja za izdelavo trdega filca iz ogljikovih vlaken uporablja mehko klobuk kot surovino. Proces proizvodnje se začne z rezanjem: rezanje več kosov praznin nekoliko večje od končne trde velikosti iz mehkega filca. Po rezanju ga impregniramo s smolo in drugimi vezanimi materiali, impregnirane prazne pa so zložene v več plasti glede na potrebno trdo debelino.
Impregnacija v mehki proizvodnji je v glavnem impregnacija s katalizatorji, da bi viskozna vlakna postala bolj stabilna pri kasnejši toplotni obdelavi; Medtem ko je impregnacija togega grafitnega filca predvsem impregnacija s termosetsko smolo. V nadaljnjem postopku ogrevanja in strjevanja se tekoča smola strdi, več plasti mehkega filca pa so tesno kombinirane s smolo, ki se tvori.
Grafitski mehki klobuč iz smole + ogljikove vlakne omogoča, da material doseže učinek "1 + 1> 2" v nekaterih lastnostih. Po ogrevanju in strjevanju večplastnega mehkega filca, impregniranega s smolo, ni več mogoče valjati kot mehki klobuk, povečana pa se tudi gostota in tlačna trdnost materiala.
Med rastjo PVT posameznih kristalov ima občutek ogljikovih vlaken vlogo pri ohranjanju toplote. Čistost togega grafitnega filca je ključnega pomena za uspešno rast sic kristalov. Nečistoče v izolacijskem občutljivem materialu so eden od virov nečistoče med procesom rasti. Vsebnost ključnih elementov nečistoče v filci iz ogljikovih vlaken je nadzorovana pod 10-6, skupno vsebnost pepela pa je treba strogo nadzorovati. V skladu s patentom sprejema različne visokotemperaturne večstopenjske metode čiščenja z več koraki cirkulacije plina v vsaki fazi za pretvorbo nečistoč v točkovnih točkah v spojine z nizko cepljenjem in odvajanje nečistoč plinov ter na koncu pridobijo ogljikove vlaknine, katerih vsebnost pepela je manjša od 20 mg · kg in B, v Fe, v 0,1 mg.
Tog grafit Felt ima tudi ključne tehnologije za nadzor enakomernosti pretočnega polja, vključno s temperaturnim poljem in plinskim poljskim nadzorom polja. Temperaturno polje je v enojni kristalni peči uniformizirano tako, da oblikuje območja kompenzacije temperature, večnamenski neodvisni nadzor temperature in spreminja oblike in postavitve grelnika.