Semicorexov susceptor, prevlečen s silicijevim karbidom, za induktivno sklopljeno plazmo (ICP) je zasnovan posebej za postopke obdelave rezin pri visokih temperaturah, kot sta epitaksija in MOCVD. S stabilno, visokotemperaturno odpornostjo proti oksidaciji do 1600 °C naši nosilci zagotavljajo enakomerne toplotne profile, laminarne vzorce toka plina in preprečujejo kontaminacijo ali difuzijo nečistoč.
Preberi večPošlji povpraševanje