Nosilna plošča Semicorex SiC Graphite RTP za MOCVD ponuja vrhunsko toplotno odpornost in toplotno enakomernost, zaradi česar je popolna rešitev za aplikacije za obdelavo polprevodniških rezin. Z visokokakovostnim grafitom, prevlečenim s SiC, je ta izdelek zasnovan tako, da prenese najtežja okolja nanašanja za epitaksialno rast. Visoka toplotna prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote zagotavljajo zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanje