Nosilec prevleke Semicorex RTP/RTA SiC je zasnovan tako, da prenese najtežje pogoje okolja nanašanja. S svojo visoko toplotno in korozijsko odpornostjo je ta izdelek zasnovan tako, da zagotavlja optimalno delovanje za epitaksialno rast. Nosilec, prevlečen s SiC, ima visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote, kar zagotavlja zanesljivo delovanje pri RTA, RTP ali močnem kemičnem čiščenju.
Preberi večPošlji povpraševanje