Izdelki

Semicorex Quartz Susceptor Support je zasnovan posebej za polprevodniške epitaksialne peči. Njegovi materiali visoke čistosti in natančna struktura omogočajo natančno dviganje in nadzor položaja pladnjev ali držal za vzorce v reakcijski komori. Semicorex lahko zagotovi prilagojene kremenčeve rešitve visoke čistosti, ki zagotavljajo dolgoročno stabilnost delovanja vsake podporne komponente v visokovakuumskih, visokotemperaturnih in visoko korozivnih polprevodniških procesnih okoljih z napredno tehnologijo obdelave in strogim nadzorom kakovosti.*

Semicorex SiC epi-wafer suceptorji, izdelani iz grafita, prevlečenega s SiC, so zasnovani tako, da zagotavljajo izjemno toplotno enakomernost in kemično stabilnost pri visokotemperaturnih epitaksialnih procesih rasti. Semicorex je zavezan zagotavljanju najkakovostnejših izdelkov in najboljših storitev strankam po vsem svetu. Z močnim tehničnim znanjem in zanesljivimi proizvodnimi zmogljivostmi pomagamo globalnim partnerjem doseči stabilno delovanje in dolgoročno vrednost.*

Epitaksialni suceptorji, prevlečeni s Semicorex SiC, so bistvene komponente, ki se uporabljajo v procesu epitaksialne rasti polprevodnikov za stabilno podporo in pritrditev polprevodniških rezin. Z izkoriščanjem zrelih proizvodnih zmogljivosti in najsodobnejših proizvodnih tehnologij je Semicorex zavezan k dobavi vodilne kakovosti na trgu in po konkurenčnih cenah epitaksialnih prijemnikov, prevlečenih s SiC, za naše cenjene stranke.

Grafitni MOCVD-suceptorji, prevlečeni s SiC, so bistvene komponente, ki se uporabljajo v opremi za kovinsko-organsko kemično naparjevanje (MOCVD), ki je odgovorna za držanje in ogrevanje substratov rezin. S svojim vrhunskim upravljanjem toplote, kemično odpornostjo in dimenzijsko stabilnostjo grafitni MOCVD suceptorji, prevlečeni s SiC, veljajo za optimalno možnost za visokokakovostno epitaksijo substrata rezin.

Semicorex CVD TaC Coated Susceptor je vrhunska rešitev, zasnovana za epitaksialne procese MOCVD, ki zagotavlja izjemno toplotno stabilnost, čistost in odpornost proti koroziji v ekstremnih procesnih pogojih. Semicorex se osredotoča na natančno izdelano tehnologijo premazov, ki zagotavlja dosledno kakovost rezin, podaljšano življenjsko dobo komponent in zanesljivo delovanje v vsakem proizvodnem ciklu.*

Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor je grafitni pladenj, prevlečen s tantalovim karbidom, ki se uporablja pri epitaksialni rasti silicijevega karbida za izboljšanje kakovosti in učinkovitosti rezin. Izberite Semicorex zaradi njegove napredne tehnologije premazov in vzdržljivih rešitev, ki zagotavljajo vrhunske rezultate epitaksije SiC in podaljšano življenjsko dobo suceptorja.*