Lonček iz poroznega grafita

Porozni grafitni lonček ima ključno vlogo v procesu rasti monokristala silicijevega karbida (SiC), kar je ključni korak v proizvodnji polprevodnikov. Ta specializirani lonček je zasnovan tako, da prenese ekstremne temperature in težka kemična okolja, zaradi česar je idealen vsebnik za visokotemperaturne reakcije, ki so vključene v rast kristalov SiC.

Lonček je običajno izdelan iz grafitnega materiala visoke čistosti, ki je znan po svoji odlični toplotni prevodnosti, kemični inertnosti in mehanski trdnosti. Izraz "porozen" se nanaša na namerno ustvarjanje prepustne strukture znotraj grafita, ki omogoča nadzorovan pretok plinov in tekočin med procesom rasti kristalov.

Postopek rasti monokristala SiC vključuje sublimacijo izvornih materialov silicija in ogljika v visokotemperaturni peči. Porozni grafitni lonček deluje kot posoda za te izvorne materiale in zagotavlja stabilno in nadzorovano okolje za rast kristalov. Njegova porozna struktura omogoča učinkovit transport predhodnih plinov in olajša odstranjevanje stranskih produktov, ki nastanejo med procesom rasti.

Sposobnost lončka, da ohranja stabilnost in vzdrži ekstremne pogoje, je bistvena za doseganje visokokakovostnih monokristalov SiC, ki so sestavni del proizvodnje polprevodniških naprav. Poroznost lončka pomaga optimizirati pretok plina in porazdelitev toplote, kar prispeva k enakomerni rasti velikih in visokokakovostnih kristalov SiC.