Nosilci polprevodnic PFA rezin so visoko čistosti, kemično odporna rešitev, ki je zasnovana za varno rokovanje in prevoz polprevodniških rezin v ultra čistih okoljih. Zaupanja vodilnim Fabs in OEM-ji, Semicorex prinaša natančno opremljene nosilce z dosledno kakovostjo, hitrimi časi svinca in popolno prilagoditev, da ustreza razvijajočim se zahtevam napredne proizvodnje polprevodnikov.**
SECOREX PFANosilci rezinso visokozmogljivi prevozniki, zasnovani za varno ravnanje, skladiščenje in prevoz polprevodniških rezin v ultra čistilnem okolju. Proizvodnja naprednih polprevodnikov zagotavlja, da nosilci rezin PFA nudijo neprekosljivo kemično odpornost, toplotno stabilnost in nadzor delcev iz celovitosti in čistosti rezin med izdelavo do končnega testiranja.
Izdelani iz novega PFA, te nosilce rezin kažejo veliko odpornost na ostre kemikalije, kot so močne kisline, baze in topila, ki se običajno uporabljajo pri čiščenju in jedljivem rezine. PFA -jeve zelo nizke ionske izpiranje in izpiranje lastnosti je najprimernejši material za pomembne naloge čiste sobe, kjer lahko celo majhne količine onesnaževal vplivajo na donosnost naprav.
Prevozniki rezin PFA so izdelani v čistih prostorih in delajo s standardi čiste sobe razreda 1 (razreda ISO razreda 3). Gladka, nelepljiva površina PFA zmanjšuje nastajanje in oprijem delcev, kar preprečuje kontaminacijo iz ostankov ali delcev. Poleg tega hidrofobna narava PFA olajša temeljito izpiranje in hitro sušenje, kar še dodatno zmanjša tveganje za navzkrižno kontaminacijo med mokrimi koraki obdelave.
Vsak nosilec rezin PFA je natančno narejen tako, da se med premikanjem in ohranjanjem poskrbi za varno in celo podporo rezin. Reži z žlebovi pomagajo revnim režam z majhnim stikom, zmanjšajo se stres in odrezajo na robovih rezin. Prevozniki so v številnih oblikah, ki ustrezajo različnim velikosti rezin, ki vključujejo premer 100 mm, 150 mm, 200 mm in 300 mm. Neobvezni vrhovi in tesni zaklepni načini zagotavljajo dodatno varnost proti šoku za izdelke, vibracije in izpostavljenost okolju.
Zaradi odlične toplotne odpornosti PFA do 260 ° C je združljiv z visokotemperaturnimi procesi, kot so difuzija, oksidacija in kemična odlaganje pare. Prevoznik ohranja svojo strukturno celovitost pri večkratnem termičnem kolesarjenju in je zato primeren tako za serijsko kot za avtomatizirano procesno okolje.
Prevozniki rezin PFA imajo široko uporabo čiščenja rezin, mokrega jedkanja, fotolitografije CMP in drugih postopkov sprednjega dela in zadnjega dela v izdelavi IC. Njihova robustna zasnova in čistost sta idealna za uporabo v laboratorijih, R&D in OEM opremi, ki zahtevajo stroge protokole za nadzor kontaminacije.
PrilagojenoPrevozniki rezin PFALahko se razvije za izpolnjevanje posebnih zahtev za avtomatizacijo, vključno z robotskim ravnanjem, sistemi za sledenja in navpičnim/vodoravnim prevozom. Nosilci so popolnoma združljivi s standardno opremo za ravnanje z režami in orodji za proizvodnjo polprevodnikov.