PECVD solarni grafitni čoln

SemicorexPECVD solarni grafitni čolniso natančno izdelani iz visoko čistostiizostatični grafit. Vsak solarni grafitni čoln PECVD podjetja Semicorex je podvržen natančni strojni obdelavi, pregledu dimenzij in testiranju električne zmogljivosti, da se zagotovi stabilno delovanje v okoljih visoke temperature plazme.

Med obdelavo PECVD solarni grafitni čoln PECVD prenaša silicijeve rezine v reakcijsko komoro PECVD in služi kot elektroda, povezana z RF napajalnikom. Ko se med sosednjimi ploščami čolna uporabi izmenična napetost, se vzpostavi električno polje. Pod vplivom električnega polja se reaktivni plini (kot sta silan SiH₄ in amoniak NH₃) podvržejo žareči razelektritvi in ​​ustvarijo plazmo. Ioni in prosti radikali v plazmi razgradijo predhodne pline, pri čemer nastanejo silicijevi (Si) in dušikovi (N) ioni. Ti ioni se združijo in tvorijo molekule silicijevega nitrida (Si₃N₄), ki se nato nanesejo na površino silicijeve rezine in tvorijo tanke filme.

1. Izjemna toplotna stabilnost

S koeficientom toplotnega raztezanja, ki je blizu silicijevim rezinam, SemicorxPECVD solarni grafitni čolnpri segrevanju doživi zanemarljivo dimenzijsko spremembo, s čimer se zanesljivo izognemo poškodbam rezin zaradi toplotne obremenitve.

2. Vrhunska električna in toplotna prevodnost

Solarni grafitni čolni Semicorex PECVD imajo odlično električno prevodnost, kar zagotavlja hitro prevajanje RF toka in enakomerno porazdelitev električnega polja, kar je koristno za stabilno ustvarjanje plazme in enakomerno nanašanje silicijevih rezin. Poleg tega njegova vrhunska toplotna prevodnost omogoča hitro hlajenje in segrevanje, s čimer izboljša učinkovitost proizvodnje, hkrati pa preprečuje, da bi lokalno pregrevanje vplivalo na kakovost nanašanja.

3. Močna kemična stabilnost

Zahvaljujoč uporabi prvovrstnega materiala je solarni grafitni čoln Semicorex PECVD manj nagnjen k reakciji z reaktivnimi plini in plazmo. Ta lastnost bistveno preprečuje neenakomerno porazdelitev električnega polja, ki ga povzroči korozija, deformacija ali odlaganje nečistoč v grafitnem čolnu, s čimer zagotavlja stabilnost procesa odlaganja in kakovost površine silicijevih rezin.

4. Izjemna mehanska trdnost

S svojo izjemno mehansko trdnostjo lahko solarni grafitni čoln Semicorex PECVD zlahka prenese težo obremenitev rezin z velikim volumnom. Dolgo časa lahko prenesejo mehanske obremenitve, ki nastanejo med nakladanjem in transportom, ne da bi se zlahka deformirali ali zlomili.

5. Odlična dimenzijska skladnost

Solarni grafitni čoln Semicorex PECVD z natančno strojno obdelavo dosega izjemno dimenzijsko natančnost vseh komponent. Silicijevo rezino ohranja v fiksnem položaju med nanašanjem, kar zagotavlja enakomerno nanašanje in združljivost z avtomatizirano proizvodnjo.