PBN grelec

Polmenski pirolitični boronski nitrid PBN grelnik je visokozmogljiva, visokozmogljiva ogrevalna komponenta, zasnovana za zahtevne aplikacije, kjer so ultra čisti, kemično stabilni in toplotno učinkoviti materiali bistveni. PBN, izdelan s postopkom kemičnega odlaganja hlapov (CVD), ima izjemno toplotno prevodnost, visokotemperaturno odpornost in izjemno kemično inertnost, zaradi česar je idealna izbira za polprevodniško predelavo, rast kristalov in vakuumsko uporabo.

PBN grelec je grelec, ki uporablja visoko izolacijski PBN kot substrat in uporablja nizkotlačno toplotno razgradnjo kemičnega nalaganja (CVD) za premazovanje PG pri nizkem tlaku (pod 10Torr) in visoko temperaturo. Glavne komponente tega sestavljenega grelnika so pirolitični borovni nitrid (PBN) in pirolitični grafit (PG). Zaradi odlične korozijske odpornosti in visoke temperaturne odpornosti se uporablja predvsem za ogrevanje polprevodniškega substrata (ki se uporablja v MBE, MOCVD, brizganju itd.); Ogrevanje substrata superprevodnika; vzorčno ogrevanje med analizo vzorca; Ogrevanje vzorca elektronskih mikroskopov; kovinsko ogrevanje; Kovinski vir ogrevanja izhlapevanja itd.

PBN je inerten za korozivne pline; ima visoko čistost (večjo od 99,99%); ne navlaži ali reagira z večino staljenih kovin (ima značilnosti ponve, ki se ne nalepi, kovine pa lahko uporabimo 100%); ima dobro visoko temperaturno odpornost (največja delovna temperatura je 2000 ℃); dobra gostota; Dobra odpornost na toplotni udar in druge odlične lastnosti so idealen material za pripravo kompozitnih grelnikov PBN-PG. PG lahko hitro segrejemo na 1600 ℃ (v inertni atmosferi in pod vakuumom) v grelniku PBN. Hkrati v kombinaciji z dobro toplotno prevodnostjo PBN ima ogrevalna površina dobro toplotno enakomernost. S hitrim razvojem povezanih industrij se je povpraševanje po kompozitnih grelnikih PBN-PG hitro povečalo tudi hitro.

PBN grelniki lahko izdelajo v različnih oblikah in konfiguracijah, da se izpolnjujejo posebne zahteve za oblikovanje in integracijo. Tipični dizajni vključujejo ravninske grelnike, cevaste grelnike in geometrije po meri z vgrajenimi ali površinsko nameščenimi ogrevalnimi elementi. Ogrevalni elementi so običajno izdelani iz pirolitičnega grafita (PG) in zaprti v PBN, ki zagotavlja popolnoma zaprto, električno izolacijsko in toplotno učinkovito strukturo.