PBN elektrostatična vpenjalna glava

Materialne lastnostiPBNElektrostatična vpenjalna glava

Odpornost na visoke temperature in dielektrična trdnost

ThePBNElektrostatična vpenjalna glava je znana po svoji izjemni odpornosti na visoke temperature, lastnosti, ki je ključnega pomena v procesu izdelave polprevodnikov. Pirolitični borov nitrid (PBN), material, uporabljen pri izdelavi vpenjalne glave, ima večjo upornost kot večina običajno uporabljene keramike, kar je ključnega pomena za vzdrževanje Johnsen-Rahbekove (J-R) sile vpenjalne glave do temperatur 1050 °C. Ta visoka upornost, skupaj z visoko dielektrično trdnostjo, zagotavlja, da je električni prepad učinkovito preprečen tudi pri intenzivni vročini, s čimer se poveča zanesljivost delovanja vpenjalne glave.

Toplotna enakomernost in odpornost na udarce

Šestkotna mrežna struktura PBN, pripravljena s kemičnim naparjevanjem pri temperaturah nad 1500 °C, prispeva k njegovi izjemni toplotni enakomernosti in odpornosti na udarce. Grelni elementi visoke gostote znotrajPBNElektrostatična vpenjalna glava omogoča doseganje doslednega toplotnega profila rezin z dobro enakomernostjo 1,1–1,5 % pri temperaturah 600–800 °C. Poleg tega vpenjalna glava na osnovi PBN izkazuje izjemno odpornost na toplotne udarce in nižjo toplotno maso, kar ji omogoča, da doseže 600 °C pri hitri hitrosti 23 °C/s brez nevarnosti pokanja ali razslojevanja.

Prilagodljivo večconsko ogrevanje

Elektrostatična vpenjalna glava PBN je zelo prilagodljiva in ima zmožnosti večconskega ogrevanja, ki omogočajo največji nadzor temperature. Ta stopnja prilagajanja zagotavlja, da je mogoče vsako vpenjalno glavo prilagoditi posebnim zahtevam posameznih strank, kar zagotavlja prilagodljivo rešitev za različne aplikacije obdelave polprevodnikov.

Aplikacije zaPBNElektrostatična vpenjalna glava

Ionska implantacija in ravnanje z rezinami

Elektrostatična vpenjalna glava PBN je prednostna naprava za ravnanje z rezinami v postopkih ionske implantacije. Njegova zmožnost zadrževanja rezin pri temperaturah nad 1000 °C ga uvršča med najbolj vsestranske elektrostatične vpenjalne glave na trgu. Ta vsestranskost je dodatno okrepljena z njegovo zmožnostjo vzdrževanja rezin v zelo ozkih temperaturnih območjih, zahvaljujoč večconskim grelnim elementom z visoko gostoto.

Implantacija silicijevega karbida

Pri specifični uporabi SiC ionske implantacije jePBNElektrostatična vpenjalna glava ponuja izvedljivo rešitev za izzive segrevanja rezin in ravnanja z njimi. Njegove dvojne funkcije, ki vključujejo visoko silo vpenjala, visoko grelno moč, dobro toplotno enakomernost in hiter odziv, so idealna izbira za reševanje kompleksnih zahtev SiC ionske implantacije.

Proizvodnja polprevodnikov

Elektrostatična vpenjalna glava PBN igra ključno vlogo pri proizvodnji polprevodnikov, kjer sta bistvena natančno ravnanje z rezinami in nadzor temperature. Zaradi visoke odpornosti na toplotne udarce in zmožnosti hitrega naraščanja temperature je primeren za napredne polprevodniške postopke, ki zahtevajo strogo upravljanje temperature in hitro toplotno kroženje.