Kompozitni grelniki PBN

Polmonski kompozitni grelniki PBN združujejo odlično toplotno prevodnost pirolitičnega grafita s kemično inersoto in električno izolacijo pirolitičnega borovega nitrida. Ti grelniki so zgrajeni iz zelo visokega čistosti grafita in PBN, ki se uporablja s postopkom visokokakovostnega CVB (kemičnega odlaganja hlapov) v pogojih visokega nanašanja čistosti. Vsaka posamezna plast dosežka je bila odložena z zelo skrajno nadzorovalnostjo, da se zagotovi izjemno visoko čistost in dosledne toplotne lastnosti. Grafitno jedro, ki zagotavlja hitro in enakomerno ogrevanje po vsem, je zaščiteno pred oksidacijo in kontaminacijo s kapsulo PBN; Zaradi tega je grelnik idealen za vakuumska plinska okolja in inertna plinska okolja. Ti grelniki PBN so namenoma zasnovani za uporabo v reaktorjih MBE (molekularni žarek epitaksi), reaktorjev CVD in drugih kristalnih rastnih sistemih.

Kompozitni grelec pirolitskega nitrida-pirolitika (PBN-PG) je grelec, ki uporablja PBN z visokim insulacijo kot substrat in uporablja nizkotlačno toplotno razgradnjo kemičnega odlaganja (CVD) pri nizkem tlaku (pod 10Torr) in visoko temperaturo, ki je prelazan PG. Glavne komponente tega sestavljenega grelnika so pirolitični borovni nitrid (PBN) in pirolitični grafit (PG). Zaradi odlične korozijske odpornosti in visoke temperaturne odpornosti se uporablja predvsem za ogrevanje polprevodniškega substrata (ki se uporablja v MBE, MOCVD, brizganju itd.); Ogrevanje substrata superprevodnika; vzorčno ogrevanje med analizo vzorca; Ogrevanje vzorca elektronskih mikroskopov; kovinsko ogrevanje; Kovinski vir ogrevanja izhlapevanja itd.

Grelniki PBN lahko zdržijo obratovalne temperature do 1600 ° C v vakuumu in imajo izboljšano sposobnost, da prenesejo toplotni šok nad kakršnimi koli kovinskimi alternativami, na katere bi se zanašali. Površina grelnika je izjemno gladka in gosta in proizvaja bistveno manj delcev med delovanjem, kar je ključnega pomena za aplikacije, kjer kontaminacije ni mogoče prenašati, kot je predelava polprevodniških rezin.

Kompozitna struktura zagotavlja odlično toplotno enakomernost na površini grelnika, njegove uporovne poti pa je mogoče prilagoditi, da se omogoči prilagojena porazdelitev toplote. Ta zasnova omogoča hitre cikle rampe in ohlajanja med predelavo, ne da bi se pokvarili in raztezali zaradi enakih koeficientov toplotne ekspanzije rabljenih materialov. Elektrode so sposobne vzdržati neprekinjeno delovanje visokega toka in so tudi združljive v vakuumu.

Semicorex zagotavlja neomejeno oblikovno prilagodljivost za edinstvene oblike, velikosti in zahteve po moči, kadar je to potrebno, da zadovolji določene potrebe po aplikaciji; Ne glede na to, ali gre za standardne velikosti rezin ali bolj zapletene geometrije, zagotavljamo dimenzijsko natančnost in toplotno enakomernost v vsaki proizvedeni enoti.

Kompozitni grelniki PBN so kot nalašč za ultra čiste aplikacije, vključno z:

• MBE SISTEMI ZA III-V in II-VI Spojinska polprevodniška obdelava
• Sistemi vakuumskih premazov za optične komponente
• Sistemi za rast kristalov za safir in sic
• Termična obdelava visoke čistosti za raziskovalna in razvojna laboratorijska okolja.