Keramični disk PBN proizvajalca Semicorex je sintetiziran z zapletenim postopkom kemičnega naparjevanja (CVD) z uporabo borovega triklorida (BCl3) in amoniaka (NH3) pri povišanih temperaturah in nizkih tlakih. Rezultat te metode sinteze je material izjemne čistosti in strukturne celovitosti, zaradi česar je nepogrešljiv za različne aplikacije v industriji polprevodnikov.**
Ena najpomembnejših prednosti keramičnega diska PBN je njegova izjemno visoka čistost. Čistost plinastih materialov, uporabljenih v procesu sinteze (BCl3 + NH3 -> BN + HCl), daleč presega čistost običajnih praškov borovega nitrida. Posledično keramični disk PBN doseže stopnjo čistosti 99,99 %, pri čemer skupne nečistoče znašajo manj kot 100 delcev na milijon (ppm). Ta izjemna čistost je ključnega pomena pri proizvodnji polprevodnikov, kjer lahko že najmanjša kontaminacija povzroči okvare elektronskih komponent. Z zagotavljanjem tako visoke čistosti keramični disk PBN zmanjšuje tveganje kontaminacije in s tem povečuje zanesljivost in zmogljivost polprevodniških naprav.
Postopek CVD, uporabljen pri izdelavi keramičnega diska PBN, mu daje skoraj popolno večplastno strukturo. Ta edinstvena struktura omogoča anizotropno toplotno prevodnost, lastnost, ki je zelo koristna za komponente, ki se uporabljajo v pečeh in vakuumskih sistemih. Anizotropna toplotna prevodnost omogoča, da keramični disk PBN učinkovito upravlja porazdelitev toplote, kar zagotavlja enoten nadzor temperature po površini diska. Ta zmožnost je bistvenega pomena v postopkih izdelave polprevodnikov, ki zahtevajo natančno toplotno upravljanje za preprečevanje toplotnih gradientov, ki bi lahko povzročili okvare ali neučinkovitost komponent.
Kar zadeva toplotno odpornost, PBN Ceramic Disc izstopa kot vzoren material. Lahko prenese temperature do 1800 °C v vakuumskih okoljih in 2000 °C v dušiku, ne da bi pokazal tališče. Zaradi te izredne toplotne stabilnosti je idealna izbira za komponente peči in talilne posode, kjer so ekstremne temperature rutinski del delovanja. Sposobnost ohranjanja strukturne celovitosti pri tako visokih temperaturah zagotavlja dolgo življenjsko dobo in zanesljivost, kar zmanjšuje potrebo po pogostih zamenjavah in s tem nižje skupne operativne stroške.
Kemična inertnost je še ena značilnost keramičnega diska PBN. Odporen je na reakcije s številnimi snovmi, vključno s kislinami, alkalijami, organskimi topili, staljenimi kovinami in grafitom. Ta inertnost je še posebej ugodna pri proizvodnji polprevodnikov, kjer je izpostavljenost reaktivnim snovem pogosta. Ker ostane nereaktiven, se keramični disk PBN izogne neželenim kemičnim interakcijam, ki bi lahko ogrozile celovitost in funkcionalnost polprevodniških komponent.
Uporaba keramičnega diska PBN v industriji polprevodnikov je raznolika in vplivna. Zaradi svojih lastnosti je idealen material za uporabo v različnih okoljih z visoko temperaturo in visoko čistostjo. V epitaksialnih procesih rasti na primer disk služi kot ključna komponenta v sistemih nanašanja, kjer njegova čistost in toplotna prevodnost zagotavljata proizvodnjo visokokakovostnih polprevodniških plasti. Poleg tega keramični disk PBN pri izdelavi LED in drugih optoelektronskih naprav zagotavlja stabilno in zanesljivo platformo, ki podpira zapletene procese, potrebne za doseganje optimalne učinkovitosti naprave.
Poleg tega se vloga PBN Ceramic Disc razširi na proizvodnjo močnostnih elektronskih naprav. Te naprave pogosto delujejo pri visokih temperaturah in zahtevajo materiale, ki lahko ohranijo učinkovitost v takih pogojih. Zaradi odličnih toplotnih in kemičnih lastnosti keramičnega diska PBN je primeren za podlage in druge komponente znotraj močnostnih elektronskih sistemov, kar prispeva k učinkovitosti in vzdržljivosti teh naprav.
Strukture borovega nitrida