Ker se tehnološka vozlišča še naprej krčijo, predstavlja nastanek ultra plitvih stičišč velik izziv. Postopki termičnega žarjenja, vključno s hitrim termičnim žarjenjem (RTA) in žarjenjem z bliskovno svetilko (FLA), so ključne tehnike, ki ohranjajo visoke stopnje aktivacije nečistoč, hkrati pa zmanj......
Preberi večV proizvodnji polprevodnikov sta natančnost in stabilnost postopka jedkanja najpomembnejši. Eden ključnih dejavnikov pri doseganju visokokakovostnega jedkanja je zagotavljanje, da so oblati med postopkom popolnoma ravni na pladnju. Vsako odstopanje lahko povzroči neenakomerno obstreljevanje z ioni, ......
Preberi več