Površinska obdelava za visokokakovostne elektrostatične vpenjalne glave

Theelektrostatična vpenjalna glavaopravlja številne funkcije, kot so enakomerna elektrostatična razelektritev, toplotna prevodnost in adsorpcija ter fiksacija rezin na področju proizvodnje polprevodnikov. Ena od osrednjih funkcij ESC je stabilna adsorpcija rezin v ekstremnih pogojih delovanja, kot so visok vakuum, močna plazma in široko temperaturno območje.

Tisto, kar resnično določa njihovo delovanje, ni zunanja struktura ali formula osnovnega materiala, temveč postopek površinske obdelave. Brez profesionalne površinske obdelave se bodo med delovanjem pojavile naslednje težave:

1. Plazemska erozija in kontaminacija s kovinskimi ioni

Nezaščitene keramične površine so občutljive na plazemsko erozijo pri nastavitvah postopka jedkanja ali CVD. Ta vrsta erozije lahko neposredno povzroči sproščanje kovinskih ionov ali odpadanje keramičnih delcev, s čimer se kontaminira rezina.

2. Neenakomerna toplotna prevodnost in deformacija zvijanja

Grobe površine ali slaba obdelava povzročijo neenakomeren stik med rezino inESC, ki ovira toplotno prevodnost in vpliva na enotnost CD-ja.

3. Nestabilna elektrostatična adsorpcija

Nenatančna kontrola izolacijske učinkovitosti površine ali prevodnosti elektrostatične vpenjalne glave lahko zlahka povzroči nezadostno adsorpcijsko silo ali prekomerno adsorpcijo, kar na koncu neposredno vpliva na izkoristek obdelave rezin.

Tovrsten premaz je še posebej primeren za nizkotemperaturna procesna okolja zaradi nizke površinske proste energije, ki učinkovito preprečuje adsorpcijo ostankov fotorezista.

Skupne tehnologije površinske obdelave vrhunskih ESC:

1. Fluoropolimerni nelepilni premazi (kot sta PTFE in PFA)

Tovrsten premaz je še posebej primeren za nizkotemperaturna procesna okolja zaradi nizke površinske proste energije, ki učinkovito preprečuje adsorpcijo ostankov fotorezista.

2. Diamond-Like Carbon (DLC) premazi

Z visoko trdoto, odpornostjo proti plazmi in nizkim koeficientom trenja so primerni za aplikacije proti eroziji in ločevanju delcev v opremi za jedkanje.

3. PVD prevodni keramični filmi (kot sta CrSiN in TiN)

Ta vrsta prevleke lahko ustvari stabilno prevodno pot na določenem območju in se tako učinkovito izogne ​​problemu lokalnega kopičenja naboja z natančnim nadzorom enakomernega praznjenja površinskih nabojev.

4. Kompozitni toplotno prevodni premazi (kot je diamantni prah in fluoropolimer hibridni premaz)

Ta vrsta prevleke združuje nelepilne lastnosti s toplotno prevodnostjo, njegova splošna učinkovitost pa se lahko natančno ujema z zahtevami uporabe visoko natančnega termičnega nadzora ESC.