Proizvodnja polprevodnikov, temelj sodobnega tehnološkega napredka, je v nenehnem prizadevanju za manjša, hitrejša in učinkovitejša integrirana vezja. To vztrajno prizadevanje poganja potrebo po vedno bolj natančnih in sofisticiranih proizvodnih procesih, kjer je vsak korak močno odvisen od visoko z......
Preberi večElektrostatične vpenjalne glave (ESC) so postale nepogrešljive v proizvodnji polprevodnikov in proizvodnji ploščatih zaslonov, saj ponujajo nepoškodovano in visoko nadzorovano metodo za držanje in pozicioniranje občutljivih rezin in substratov med kritičnimi koraki obdelave. Ta članek se poglobi v z......
Preberi večRazvoj 3C-SiC, pomembnega politipa silicijevega karbida, odraža stalen napredek znanosti o polprevodniških materialih. V osemdesetih letih prejšnjega stoletja sta Nishino et al. prvi dosegel 4 μm debel 3C-SiC film na silicijevem substratu z uporabo kemičnega naparjevanja (CVD)[1], s čimer je postavi......
Preberi več