Struktura elektrostatične vpenjalne glave (ESC)

AnElektrostatična vpenjalna glava (ESC)je naprava, ki se uporablja za držanje polprevodniških rezin na mestu med postopki, kot so jedkanje, nanašanje ali poliranje. Deluje tako, da ustvari elektrostatično polje, ki pritegne in varno zadrži rezino na površini vpenjalne glave, kar zagotavlja stabilnost in natančno poravnavo med rokovanjem z rezino. ESC se pogosto uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov za izboljšanje natančnosti postopka in učinkovitosti ravnanja z rezinami.

Dejanska podoba konvencionalnegaelektrostatična vpenjalna glava (ESC)je prikazano na sliki. Glavna razlika med modeli je v materialu izolacijske plasti na površini elektrostatične vpenjalne glave. Na sliki temna barva predstavlja aluminijev nitrid, medtem ko bela barva predstavlja aluminijev oksid. Strukturaelektrostatična vpenjalna glavaje sestavljen iz več delov:

1. **Izolacijska plast**: Ta plast je v stiku z rezino, ki je običajno izdelana iz keramike iz aluminijevega nitrida ali aluminijevega oksida zaradi njihove odlične mehanske trdnosti, odpornosti na visoke temperature in dobre toplotne prevodnosti.

2. **Izmetalni zatič in odprtina za plin**: Izmetalni zatič je zasnovan za prenos rezine. Ko rezina vstopi v komoro za jedkanje, se ejektorski zatič dvigne, da jo podpira, nato pa se spusti, da položi rezino na površino elektrostatične vpenjalne glave. Ejektorski zatič ima običajno votlo strukturo, ki omogoča vnos plina helija za pomoč pri hlajenju rezine.

3. **Back He Flow Channel**: Ta komponenta izboljša odvajanje toplote in olajša adsorpcijo rezine.

4. **Elektrostatična elektroda**: Ta elektroda ustvarja električno polje, ki ustvarja elektrostatično silo, potrebno za držanje rezine na mestu. Običajno je elektroda ravna in je vdelana v izolacijski material ali naložena nanj. Običajno uporabljeni prevodni materiali vključujejo aluminij, baker in volfram.

5. **Hladilna voda v kroženju in grelna elektroda**: Ti elementi so v prvi vrsti odgovorni za nadzor celotne temperature elektrostatične vpenjalne glave. Grelna elektroda in krožeča hladilna voda delujeta v tandemu, da vzdržujeta stabilno temperaturo za rezino. Če se zanašate samo na kroženje hladilne vode, lahko pride do nezmožnosti upravljanja toplote, ki nastane med postopkom jedkanja, kar lahko ogrozi stabilnost postopka.  

Semicorex ponuja visoko kakovostElektrostatična vpenjalna glava (ESC). Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com