2025-03-31
Keramični grelec aluminijevega nitrida (ALN)Za polprevodnik je naprava, ki se uporablja za ogrevanje polprevodniških materialov. Izdelana je predvsem iz aluminijevega nitridnega keramičnega materiala, ima odlično toplotno prevodnost in visoko temperaturno odpornost in lahko stabilno deluje pri visokih temperaturah. ALN grelec običajno uporablja uporno žico kot ogrevalni element. Z napajanjem uporniške žice za ogrevanje se toplota prenese na površino grelnika, da segreva polprevodniški material. ALN grelec za polprevodnik ima pomembno vlogo pri procesu proizvodnje polprevodnikov in ga je mogoče uporabiti v procesih, kot so rast kristalov, žarjenje in peka. Globalni trg ALN grelnika za polprevodnike je leta 2022 dosegel 535,05 milijona ameriških dolarjev, kar je medletno povečanje za 7,13%. Pričakuje se, da bo velikost trga v letu 2029 dosegla 848,21 milijona ameriških dolarjev, stopnja rasti spojine (CAGR) 6,72% od leta 2023 do 2029.
Tehnične težave pri obdelaviALN grelec
1. Med obdelavo grelnika ALN je enostavno prekiniti in propadati zaradi sprememb notranjega stresa materiala, kar vpliva na kvalificirano hitrost končnega izdelka. Proizvodnja aluminijevih nitridnih keramičnih materialov ni enostavna, nizka stopnja donosa grelnika ALN pa je tudi eden od pomembnih razlogov za visoko ceno aluminijevih keramičnih ogrevalnih plošč.
2. Problem samih aluminijevih nitridnih keramičnih materialov. Ker se bo v industriji proizvodnje keramičnih materialov aluminijeva struktura samega materiala v različnih temperaturnih in okoljskih pogojih ustrezno spremenila. Proizvodnja aluminijevih nitridnih keramičnih materialov je sama relativno težka naloga. Nizka kakovost materiala je tudi pomemben razlog za nizko usposobljeno hitrost grelnika ALN.
Dejavniki, ki vplivajo na toplotno prevodnost
Glavni dejavniki, ki vplivajo na toplotno prevodnost keramike aluminijevega nitrida, so gostota rešetke, vsebnost kisika, čistost prahu, mikrostruktura itd., Ki bodo vplivale na toplotno prevodnost aluminijeve keramike.
Gostota rešetke
Glede na toplotno prevodnost keramičnih materialov aluminijevega nitrida bo prisotnost velikega števila pore v vzorcih z nizko gostoto vplivala na razprševanje fononov, zmanjšala njihovo povprečno prosto pot in tako zmanjšala toplotno prevodnost aluminijeve keramike nitrida. Hkrati mehanske lastnosti vzorcev z nizko gostoto morda ne ustrezajo ustreznim zahtevam za uporabo. Zato je visoka gostota predpogoj, da ima aluminijeva nitridna keramika visoko toplotno prevodnost.
Vsebnost in nečistoče kisika
Za aluminijevo nitridno keramiko je zaradi močne afinitete do kisika nečistoče kisika enostavno razpršiti v rešetko ALN med postopkom sintranja, ki je neposredno povezana z različnimi okvarami in je glavni vir vpliva na toplotno prevodnost aluminijevega nirida nirida. Pri razprševanju fononov se glavno vlogo igra prisotnost nečistočega kisika in aluminijevega oksida. Ker je aluminijev nitrid enostavno hidrolizirati in oksidirati, na površini nastane plast aluminijevega oksida, aluminijev oksid pa se raztopi v aluminijevo nitridno rešetko za proizvodnjo aluminijevih prostih mest.
Kontaktni telefon # +86-13567891907
E -pošta: sales@semiconex.com