Polprevodniški keramični deli

Polprevodniški keramični deli spadajo v napredno keramiko in so nepogrešljiv del proizvodnje polprevodnikov. Surovine za pripravo so ponavadi visoko čisto-fine anorganske materiale, kot so aluminijev oksid, silicijev karbid, aluminijev nitrid, silicijev nitrid, ytrijev oksid, cirkonijev oksid itd.

Aluminijev oksid

Široko se uporablja, zmogljivost izdelka pa se razlikuje glede na čistost. 95% čistost je svetlo rumena, 99% čistosti pa snežno bela. Ima odlično togost, trdnost, odpornost na obrabo, visoko temperaturno odpornost in korozijsko odpornost in se lahko uporablja za pripravo večine polprevodniških keramičnih delov, kot so keramične šob, keramične roke itd.

Silicijev karbid

Je črna, ima visoko toplotno prevodnost, visoko trdnost in trdoto, lahkotno težo, dobro odpornost na udarce in se pogosto uporablja za pripravo vakuumskih rok in vakuumskih sesalnih skodelic.

Aluminijev nitrid

Ima visoko toplotno prevodnost, koeficient toplotne ekspanzije, ki ustreza siliciju, nizko dielektrično konstanto in dielektrično izgubo ter se lahko uporabi za izdelavo toplotnih razprševalnih substratov, keramičnih šob itd.

Silicijev nitrid

Visoka tališče, ultra visoka trdota, visoka kemična inerta, nizka koeficient toplotne ekspanzije, visoka toplotna prevodnost, dobra odpornost na toplotni udar, visoka odpornost na udarce in trdnost pod 1200 ℃, ki se pogosto uporabljajo za izdelavo keramičnih substratov, keramičnih cevi itd.

Yttrium oksid

Visoka tališče, dobra kemična in fotokemična stabilnost, visoka toplotna prevodnost, dobra prepustnost svetlobe, ki so pogosto kombinirani z glinico za izdelavo keramičnih oken.

Cirkonijev oksid

Visoka mehanska trdnost, visoka temperaturna odpornost, odpornost na kislino in alkalije, dobra izolacija, glede na različne vsebnosti so lahko izdelani iz keramičnih izdelkov za različne namene, kot so integrirani vezje podlago itd.

Vrste delov:

Polprevodniški keramični deli z različnimi funkcijami se široko uporabljajo v različnih vrstah opreme za polprevodniške ključne opreme, vključno z naslednjim:

Polprevodniška keramična roka

Pri prevozu rezin igra vlogo v polprevodniški opremi in mora delati v vakuumskem čistem okolju. Običajno je pripravljena z visoko čistočišče ali silicijevega karbida, alumina je stroškovno učinkovita in se uporablja več.

Keramična podlaga

Uporablja se v različnih elektronskih embalažnih poljih, kot so napajalne elektronske naprave, laserji itd., In so pogosto pripravljeni z materiali, kot sta glinica in silicijev nitrid.

Keramična šoba

V HDP-CVD njegova kakovost vpliva na čistost in hitrost pretoka reakcijskega plina. Aluminijeva keramika nitrida je zaradi odlične zmogljivosti primernejša za napredno procesno opremo.

Keramično okno

Je ključna sestavina polprevodniškega etcher. Vakuumsko je mogoče zatesniti, ne da bi to vplivalo na prodor v plazmi. Običajno je narejen iz visoko-čistosti glinice in ytrijevega oksida.

Pokrov keramične komore

Je ključni sestavni del opreme za nalaganje tankega filma, ki je ključnega pomena za zagotavljanje kakovosti rezin in tesnjenja reakcijske komore.

Keramični vakuumski chuck

Uporablja se za namestitev in stiskanje silicijeve rezine. Je porozna keramika iz dveh keramičnih materialov.

Postopek priprave:

Postopek priprave polprevodniških keramičnih delov "izdelave" polprevodniških delov je zapleten, v glavnem vključno z naslednjimi koraki:

Priprava v prah

Surovine je treba ponovno obdelati, surovi prah, ki ustreza zahtevam, dobimo s šaržanjem, mehanskim rezkanjem kroglic, sušenjem razpršil in drugimi procesi.

Oblikovanje v prahu

Suho stiskanje, izostatično stiskanje, vlivanje trakov, oblikovanje vbrizgavanja, oblikovanje gela in druge metode se običajno uporabljajo za izdelavo praška v keramično zeleno telo.

Sintranje visoke temperature

Keramično zeleno telo se pretvori v gosto kuhano telo z normalnim sintranjem tlaka, vakuumsko sintranje, sintranje atmosfere in druge metode.

Natančno obdelava

Sitrano keramično kuhano telo predelamo s CNC stružnicami, brusilniki itd., Da dosežemo potrebno velikost in natančnost.

Pregled kakovosti

Videz, velikost, poroznost, hrapavost in druge lastnosti keramičnih delov se testirajo, da se zagotovi kakovost izdelka.

Površinsko obdelavo

Površina izdelkov, ki opravijo pregled kakovosti, je očiščena, za posebne potrebe pa je potrebna nadaljnja površinska obdelava, kot so razprševanje obrokov, brizganje v plazmi itd.

Semicorex ponuja visokokakovostnoKeramični deliv polprevodniku. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktni telefon # +86-13567891907

E -pošta: sales@semiconex.com