Notranja vodilna cev

Notranja vodilna cev Semicorex je natančno izdelanakomponenta ogljik/ogljik (C/C).zasnovan za uporabo v naprednem visokotemperaturnem termičnem polju, zlasti pri rasti kristalov silicija visoke čistosti. Kot kritični element v pečeh za rast kristalov ima ta komponenta osrednjo vlogo pri oblikovanju in stabilizaciji toplotnega gradienta, kar zagotavlja optimalno tvorbo kristalov in dosledno kakovost materiala.

Notranja vodilna cev je izdelana iz ogljikovega kompozita visoke gostote, ojačanega z ogljikovimi vlakni, in nudi izjemno strukturno celovitost in toplotno stabilnost v ekstremnih pogojih. Z gostoto ≥1,35 g/cm³ in upogibno trdnostjo ≥110 MPa ohranja mehansko robustnost tudi med dolgotrajno izpostavljenostjo povišanim temperaturam. Te lastnosti so bistvene pri proizvodnji silicija polprevodniške kakovosti, kjer lahko že manjša nihanja v toplotnih pogojih bistveno vplivajo na enakomernost kristalov in stopnje napak.

Osnovna funkcionalnost: Precision Gradient Control

Primarna vloga notranje vodilne cevi C/C je izdelava natančnega gradientnega temperaturnega polja. Med postopkom rasti kristalov silicija je nameščen neposredno nad talino, da:

Neposredni pretok plina: usmerja pretok inertnega plina argona, s čimer zagotavlja, da se hlapi silicijevega oksida (SiO) učinkovito odvajajo s površine taline in preprečujejo onesnaženje s kisikom v kristalu.

Toplotna zaščita: ščiti rastoči kristal pred neposrednim toplotnim sevanjem iz sten lončka, s čimer vzpostavi strm aksialni temperaturni gradient, ki je potreben za visokohitrostno in kakovostno vlečenje kristala.

Energetska učinkovitost: s koncentriranjem toplote v območju taline in izolacijo zgornjih komponent peči znatno zmanjša skupno porabo energije.

Tehnične specifikacije in odličnost materialov

Naše notranje vodilne cevi so izdelane z visoko gostotoOgljik/ogljikovi kompoziti, ki zagotavlja vrhunsko alternativo tradicionalnemu grafitu. Lastnosti materiala so optimizirane za ekstremne pogoje polprevodniških vakuumskih peči:

Gostota: ≥ 1,35 g/cm³

Upogibna trdnost: ≥ 110 MPa

Koeficient toplotnega raztezanja (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Toplotna prevodnost (sobna temperatura): ≤ 10 W/(m·K)

Industrija

Ko se industrija premika proti večjim velikostim rezin (300 mm in 450 mm), se zahteve glede termičnega polja eksponentno povečujejo. Naše notranje vodilne cevi so združljive z glavnimi znamkami peči CZ in jih je mogoče prilagoditi v smislu geometrije in prevleke.