Horizontalni čolni iz kremena

Horizontalni čolni iz kvarčnih napolitankobičajno držijo polprevodniške rezine vodoravno v ceveh peči opreme za toplotno obdelavo, ki jih segrevajo zunanje grelne naprave. Široko se uporabljajo v zahtevnih visokotemperaturnih procesih korozivne toplotne obdelave polprevodnikov, kot so termična oksidacija, visokotemperaturna difuzija, žarjenje in postopki kemičnega naparjevanja (CVD).

Funkcije Semicorex horizontalnih kremenčevih ladij

1.Stabilno držanje in zavarovanje

Horizontalni čolni za rezine iz kvarčnega rezina Semicorex imajo odlično nosilnost in lahko nenehno nudijo stabilno podporo za več polprevodniških rezin. Njihova optimizirana zunanja zasnova in natančna struktura rež zagotavljata vsakooblatje popolnoma nameščen in trdno pritrjen na vodoravne čolne iz kremenčevih rezin, kar znatno zmanjša praske in trke rezin, ki jih povzroči tresenje, premik in nagibanje med transportnimi in proizvodnimi procesi.

2. Pomoč pri enotnosti procesa

Struktura rež z enakimi razmiki vodoravnih kremenčevih rezin omogoča urejeno postavitev polprevodniških rezin, s čimer se ustvari stabilno in gladko polje pretoka plina v visokotemperaturnih pečeh. Strukturna zasnova doseže dosleden stik s plinom in hitrost reakcije na vsaki površini rezine, s čimer se učinkovito zmanjšajo različne napake, ki jih povzroči neenakomerno segrevanje in diferencialni stik s plinom, kot so nepopolna oksidacija rezin, neenakomerno nanašanje tankega filma in odstopanje koncentracije dopinga.

3. Dolgotrajna življenjska doba

Zahvaljujoč vrhunski visokotemperaturni odpornosti kremenčevega materiala lahko Semicorex horizontalni kremenčevi rezinski čolni dolgo časa vzdržijo visoke temperature 1100-1200 ℃ brez deformacij ali taljenja.Kvarcje kemično inerten na pline, ki se običajno uporabljajo v polprevodniških procesih, kot so kisik, dušik in vodikov klorid. Ta izjemna kemična inertnost lahko zmanjša tveganje korozije zaradi procesnih plinov, kar močno podaljša življenjsko dobo in skrajša čas in stroške zamenjave opreme.