Grafitni grelec za vročo cono

Semicorex Graphite Heater For Hot Zone, zasnovan za zanesljivo delovanje v visokotemperaturnih pečeh, je zasnovan tako, da vzdrži zahtevne pogoje, ki so značilni za postopke, kot so kemično naparjevanje (CVD), epitaksija in visokotemperaturno žarjenje. V podjetju Semicorex smo predani izdelavi in dobavi visoko zmogljivega grafitnega grelnika za vročo cono, ki združuje kakovost s stroškovno učinkovitostjo.**

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Homogena porazdelitev temperature:Graphite Heater For Hot Zone je znan po enotnih ogrevalnih lastnostih, doseženih s kombinacijo natančne obdelave materiala in natančne strojne obdelave. Ta homogenost zagotavlja dosleden temperaturni profil po celotni ogrevalni površini, kar zmanjšuje toplotne gradiente, ki lahko vodijo do neenakomerne obdelave rezin, zmanjšanega izkoristka in nedosledne zmogljivosti naprave.

Izjemna odpornost proti koroziji:Grafitni grelec za vročo cono izkazuje izjemno odpornost na različne korozivne pline in kemikalije, ki se pogosto pojavljajo pri visokotemperaturni obdelavi polprevodnikov. Ta inherentna inertnost zagotavlja dolgoročno stabilnost in delovanje grelnika, zmanjšuje tveganje kontaminacije in podaljšuje življenjsko dobo delovanja.

Vrhunska odpornost proti oksidaciji:Za razliko od običajnega grafita Graphite Heater For Hot Zone predstavlja vrhunsko odpornost proti oksidaciji, tudi pri povišanih temperaturah. Ta lastnost je ključnega pomena za ohranjanje celovitosti grelnika in preprečevanje nastajanja kontaminacije z delci v predelovalni komori.

Izjemno visoka kemična čistost:Graphite Heater For Hot Zone je obdelan za doseganje ultra-visokih stopenj čistosti, kar zmanjšuje tveganje vnosa neželenih onesnaževalcev v okolje za obdelavo polprevodnikov. Ta izjemna čistost je bistvena za ohranjanje celovitosti občutljivih polprevodniških materialov in zagotavljanje želenih električnih in optičnih lastnosti izdelanih naprav.

Visoka mehanska trdnost in stabilnost:Grafitni grelnik za vročo cono ima izjemno mehansko trdnost in dimenzijsko stabilnost pri povišanih temperaturah, kar omogoča izdelavo robustnih grelnih komponent, ki so sposobne prenesti obremenitve visokotemperaturnega delovanja, vključno s toplotnimi cikli in mehanskimi obremenitvami.