Grafitna elektroda

Semicorex Graphite Electrode je visoko čista, natančno izdelana grafitna komponenta za uporabo v polprevodniških termičnih aplikacijah, kjer so električna prevodnost, toplotna stabilnost in dimenzijska natančnost najpomembnejši. Dejansko se te vrste elektrod uporabljajo v visokotemperaturnih pečeh, epitaksijskih reaktorjih in komorah za termično obdelavo, kar omogoča stabilno prevajanje toka, prenos toplote in stabilnost v agresivnih pogojih temperature in atmosfere. Zaradi izredne čistosti, enotnosti trdne strukture in visokih mehanskih lastnosti grafitnih elektrod Semicorex lahko zagotovijo zanesljivo toplotno delovanje kot grelni elementi v zahtevnih polprevodniških aplikacijah.

Grafitna elektroda je izdelana iz visokokakovostnega drobnozrnatega grafitnega materiala, vsaka je izdelana z uporabo naprednega zaporedja ekstruzije, visokotemperaturne karbonizacije in grafitizacije. Grafitna mikrostruktura je zasnovana za približno konstantno električno upornost, visoko toplotno prevodnost in mehansko stabilnost. Končni izdelek je toplotni prevodnik visoke čistosti, ki ohranja fizično stanje in enakomerno porazdelitev toka v okoljih z visoko močjo kot tudi pri hitrih temperaturnih nihanjih.

Ultra Performance v našemgrafit

Naš grafit zagotavlja vrhunsko enotnost delovanja. Prvič, med procesom karbonizacije imajo naše peči le 115 kubičnih metrov. Naša tehnična ekipa spremlja temperaturno polje grafitnih izdelkov v različnih predelih vsake peči. Na začetni nizkotemperaturni stopnji (0-200°C) kontroliramo temperaturo v območju ±10°C, pri visokih temperaturah (nad 600°C) pa v območju ±1°C. Ne spremljamo le temperaturnega polja med različnimi delci grafita, temveč tudi površinsko in notranjo temperaturo vsakega posameznega kosa grafita, ki jo nadzorujemo v območju ±3°C. V vsaki karbonizacijski peči spremljamo 8 temperaturnih točk.

Drugič, med procesom grafitizacije, na primer 500 kg serije, spremljamo tudi 8 temperaturnih točk. Po grafitizaciji naključno vzorčimo in destruktivno testiramo 24 točk vzdolž osi X, Y in Z, da zagotovimo enotnost. Večina podjetij v industriji testira samo os X ali največ os XY, pri čemer tipični proizvajalci testirajo samo 6-8 točk, boljši pa 12 točk. Testiramo 24 točk.

V termičnem polju polprevodnikov je grafitna elektroda kritičen del grelnega sklopa, ki usmerja električni tok v ogrevalno cono in omogoča nadzorovano porazdelitev temperature v določenem procesu, kot je oksidacija, difuzija, LPCVD ali epitaksija. Grafitna elektroda mora zanesljivo delovati pri temperaturah, ki presegajo 2000 °C, pri čemer mora biti odporna proti oksidaciji, upogibanju ali onesnaženju mesta ogrevanja.

Grafitne elektrode Semicorex imajo izjemno električno prevodnost, kar omogoča učinkovito oddajanje električne energije z minimalnimi izgubami in imajo odlično toplotno prevodnost, ki omogoča hiter enakomeren prenos toplote v peči. Kombinacija majhnega toplotnega raztezanja in visoke mehanske trdnosti zmanjšuje deformacije in razpoke med termičnimi cikli, kar zagotavlja stabilno obnašanje v dolgi življenjski dobi. Vsaka elektroda je strojno obdelana v skladu s strogimi dimenzijskimi tolerancami in fino obdelano površino, da se zagotovi dosleden stik in zanemarljiv električni upor na kontaktni površini.

Ob upoštevanju posebnih zahtev polprevodniških procesov lahko Semicorex izdela zasnove elektrod po meri, ki ustrezajo kateri koli konfiguraciji peči in specifikaciji moči. Na voljo so lahko različni premeri, dolžine, vrste povezav ali površinske obdelave. Po potrebi se lahko nanesejo prevlečni materiali, kot sta SiC ali pirolitični ogljik, ki podpira odpornost proti oksidaciji in življenjsko dobo v okoljih z visoko vsebnostjo kisika ali reaktivnim plinom.

Visoka čistostgrafitni materialsluži za zagotavljanje neverjetno nizkih ravni kovinskih nečistoč (in plinastih nečistoč), pogosto več kot 99,999 % ogljika. Tako nizke ravni nečistoč pomagajo preprečiti kontaminacijo polprevodniških rezin med termično obdelavo. V kombinaciji s precejšnjo globino strojne obdelave in polirano površinsko obdelavo grafitne elektrode Semicorex izpolnjujejo mehansko in kemično stabilnost najsodobnejših tehnologij izdelave rezin.

Ne glede na to, ali se uporablja v difuzijskih pečeh, epitaksialnih reaktorjih ali visokotemperaturni procesni opremi, grafitna elektroda Semicorex zagotavlja neprimerljivo zmogljivost v najzahtevnejših toplotnih okoljih. S kombinacijo visoke čistosti, natančne geometrije in napredne obdelave materiala Semicorex zagotavlja rešitev za elektrode, ki zagotavlja stabilno prevodnost toka, dosledno ogrevanje in dolgoročno zanesljivost delovanja, ki je bistvena za proizvodnjo polprevodnikov naslednje generacije.