Stekleni ogljikov premaz klobučevini

Semicorex Steklena ogljikova prevleka se počuti kot notranja izolacijska plast v epitaksialnih reaktorjih silicijevega karbida. Je visokozmogljiv izolacijski material, zasnovan za napredna toplotna okolja. Ta izdelek premaga tipične polprevodniške visokotemperaturne proizvodne izzive, saj ponuja vrhunske rešitve zaradi svojih lahkih in odličnih lastnosti toplotne izolacijeGrafit Felt, skupaj s površinsko celovitostjo in kemično inertnostjo, ki jo prinaša steklena ogljikova prevleka.

Osnovni material je velika čistostGrafit FeltIzbrali za svojo nizko toplotno prevodnost visoko temperaturno stabilnost in lahka teža. Običajni grafitni občutek ima običajno površinsko odstranjevanje vlaken in nastajanje delcev pri povišanih temperaturah, kar lahko onesnaži procesno okolje v občutljivih epitaksialnih sistemih. Za ublažitev tega vprašanja je površina grafitnega filca enakomerno prevlečena s plastjo steklenega ogljika-gosta, neporozna oblika ogljika, znana po kemični inertnosti, nizki prepustnost plina in izjemna toplotna stabilnost.

Stekleni ogljik je negraliziran ogljik, ki združuje lastnosti stekla in keramike. V nasprotju s kristalnim grafitom je amorfni, skoraj 100% hibridiziran ogljikov material SP2, ki ga tvori visokotemperaturno sintranje polimeriziranih organskih prekurzorjev, kot so fenolna smola, furfurilna alkoholna smola itd., V inertni atmosferi. Ker je ves čas črna in ima gladko površino, podobno steklu, se imenuje stekleni ogljik.

Steklena ogljikova prevleka lahko odpravi nastajanje delcev peči, zagotavlja zapečatene površinske pore, ima odlične lastnosti zamikanja in zmanjšuje prepustnost, zaradi česar je ta material zelo primeren za neprekinjene kalupe in izdelke v polprevodniški industriji. Ta material ima široko paleto uporabe v polprevodniški industriji, zlasti v grafitnih delih, kot so komponente opreme za eno kristalno silicij, komponente epitaksialne rasti, neprekinjene kalupe za vlivanje, stekleno tesnjenje itd.

Stekleni ogljik ima visoko temperaturno odpornost do 3000 ° C v inertnem plinu ali vakuumu, in za razliko od vseh drugih keramičnih in kovinskih visokotemperaturnih materialov se moč steklenega ogljika povečuje z naraščajočo temperaturo do 2700K in ne postane krhka in ima izjemno visoko odpornost na toplotni udar, zato kratko ogrevanje in hlajenje ni problem. Poleg tega ima stekleni ogljik z nizko maso, nizko absorpcijo toplote in nizko toplotno ekspanzijo, zato je primeren za skoraj vse visoke temperature.

Steklena ogljikova prevleka ima ključno vlogo pri zapiranju površinskih pore grafitnega filca, kar znatno zmanjša sproščanje delcev in ogljikovega prahu med delovanjem. To je še posebej kritično v procesih rasti Epitaxial SIC, kjer lahko celo minimalna kontaminacija ogrozi kakovost rezin in zmogljivost naprave. Z zajemanjem porozne strukture filca z gladko, trdo stekleno ogljikovo lupino prevleka zagotavlja čisto in stabilno toplotno okolje znotraj reakcijske komore.

Ključne prednosti stekla iz ogljikovega premaza vključujejo:

Zmanjšano odstranjevanje delcev: gosta prevleka učinkovito zaklene v ohlapna vlakna in delce, kar preprečuje kontaminacijo rezin in reaktorskih komponent.

Visoka toplotna stabilnost: tako grafitni klobuk kot stekleni ogljik lahko zdrži temperature, ki presegajo 2000 ° C v inertni ali vakuumski atmosferi, zaradi česar je izdelek idealen za visokotemperaturne SIC procese.

Kemična inertnost: Steklena površina ogljika je odporna na večino kislin in jedko plinov, ki v težkih pogojih podaljšajo operativno življenjsko dobo izolacijske plasti.

Izboljšana doslednost procesa: Zmanjšana nastajanje delcev prispeva k bolj stabilnemu in ponovljivemu epitaksialnemu rastnemu okolju, ki je bistvenega pomena za proizvodnjo visokokakovostnih SIC rezin.

Uporaba steklene ogljikove prevleke segajo predvsem na sic epitaksialne rastne peči, kjer se uporablja kot toplotna izolacijska plast znotraj vroče cone. Izdelek je običajno nameščen kot podložni material v zgornjih ali spodnjih izolacijskih nizah, kjer zagotavlja tako toplotno zaščito kot tudi čistočo.