Podstavek iz taljenega kremena

Pri izdelavi polprevodnikov podstavek iz taljenega kremena služi kot podporna struktura za kremenčev čoln, ki drži rezine. Z vzdrževanjem konstantne temperature pomaga doseči enakomerno nanašanje tankega filma, ki je kritičen dejavnik za delovanje in zanesljivost polprevodniških naprav. Podstavek zagotavlja, da je porazdelitev toplote in svetlobe v procesni komori enakomerna, s čimer se izboljša splošna kakovost postopka nanašanja.

Prednosti taljenega kremenčevega materiala

1. Visoka temperaturna odpornost

Podstavek iz taljenega kremena se ponaša z zmehčiščem približno 1730 °C, kar mu omogoča dolgotrajno uporabo pri temperaturah od 1100 °C do 1250 °C. Poleg tega lahko prenese kratkotrajno izpostavljenost temperaturam do 1450 °C.

2. Odpornost proti koroziji

Podstavek iz taljenega kremena je kemično inerten za večino kislin, z izjemo fluorovodikove kisline. Njegova kislinska odpornost presega keramiko za 30-krat in nerjavno jeklo za 150-krat. Pri povišanih temperaturah se noben drug material ne more kosati s kemično stabilnostjo taljenega kremena, zaradi česar je idealna izbira za ostra kemična okolja.

3. Toplotna stabilnost

Ena od izstopajočih lastnosti podstavka iz taljenega kremena je njegov minimalni koeficient toplotnega raztezanja. Ta lastnost mu omogoča, da prenese močne temperaturne spremembe brez razpok. Na primer, lahko se hitro segreje na 1100 °C in nato potopi v vodo pri sobni temperaturi, ne da bi se poškodoval – bistvena značilnost za proizvodne procese z visokim stresom.

Proizvodni proces

Proizvodni proces za podstavek iz taljenega kremena je natančno nadzorovan, da se zagotovijo najvišji standardi kakovosti. Podstavki so izdelani s postopki termoformiranja in varjenja, ki se izvajajo v okolju čistih prostorov razreda 10.000 ali višjega. Naknadno čiščenje z ultra čisto vodo (18 MΩ)dodatno zagotavlja čistost in učinkovitost izdelka. Vsak podstavek iz taljenega kremena je podvržen strogemu pregledu, čiščenju in pakiranju v čisti sobi razreda 1000 ali višje, da bi izpolnili stroge zahteve izdelave polprevodnikov.

Neprozoren kremenčev material visoke čistosti

Za učinkovito blokiranje toplote in svetlobe podstavek iz taljenega kremena uporablja neprozoren kremenčev material visoke čistosti. Edinstvene lastnosti tega materiala povečujejo sposobnost podstavka, da vzdržuje stabilno in enakomerno temperaturo znotraj procesne komore, s čimer zagotavlja dosledno kakovost nanašanja tankega filma na rezine.

Širok nabor aplikacij

Zaradi izjemnih lastnosti podstavka iz taljenega kremena je primeren za različne aplikacije v industriji polprevodnikov. V procesih ALD podpira natančen nadzor rasti tankega filma na atomski ravni, ki je bistvenega pomena za proizvodnjo naprednih polprevodniških naprav. Med procesi LPCVD toplotna stabilnost podstavka in zmožnost blokiranja svetlobe prispevata k enakomernemu nanašanju filma, izboljšanju delovanja naprave in izkoristka.

Pri difuzijskih procesih visokotemperaturna odpornost in kemična inertnost Fused Quartz Pedestal zagotavljata zanesljivo in dosledno dopiranje polprevodniških materialov. Ti procesi so ključni za določanje električnih lastnosti polprevodniških naprav, uporaba visokokakovostnih materialov, kot je taljeni kremen, pa je bistvena za doseganje optimalnih rezultatov.