ESC Chuck

Semicorex ESC Chuck uporablja elektrostatične sile za vzdrževanje natančnega nadzora nad položajem rezine, kar zagotavlja visoko natančnost in ponovljivost v okoljih proizvodnje polprevodnikov. Zasnova vpenjalne glave ESC, skupaj z robustno izbiro materiala in prilagodljivimi dimenzijami, jo naredi vsestransko in bistveno orodje v postopkih, kot so jedkanje, nanašanje in ionska implantacija.

Vpenjalna glava ESC deluje z uporabo visokonapetostnega elektrostatičnega polja med elektrodama vpenjalne glave in rezino, kar ustvarja privlačno silo, ki drži rezino na mestu. Rezina, običajno izdelana iz silicija ali silicijevega karbida, je zavarovana s to silo, kar omogoča natančno delovanje v okoljih z visokim vakuumom. Ta sistem odpravlja potrebo po mehanskem vpenjanju ali vakuumskem vpenjanju, ki lahko vnese onesnaževalce ali deformira rezino. Z uporabo vpenjalne glave ESC lahko proizvajalci dosežejo čistejše in stabilnejše okolje za občutljive postopke izdelave, kar vodi do višjih izkoristkov in doslednejših rezultatov.

Ena od ključnih prednosti tehnologije ESC je njena zmožnost ohranjanja trdnega oprijema na rezini, medtem ko enakomerno porazdeli silo po njeni površini. To zagotavlja, da rezina ostane ravna in stabilna, kar je ključnega pomena za doseganje enakomernega jedkanja ali nanašanja, zlasti v procesih, kjer se zahteva submikronska natančnost. Prilagodljive dimenzije vpenjalne glave ESC omogočajo namestitev rezin različnih velikosti, od standardnih 200 mm in 300 mm rezin do specializiranih, nestandardnih velikosti, ki se uporabljajo v raziskavah in razvoju ali v proizvodnji nišnih polprevodniških naprav.

Materiali, uporabljeni pri izdelavi vpenjalne glave ESC, so skrbno izbrani, da se zagotovi združljivost s težkimi okolji, ki so značilni za obdelavo polprevodnikov. Aluminijeva keramika visoke čistosti se uporablja zaradi svojih odličnih električnih izolacijskih lastnosti, toplotne stabilnosti in odpornosti na plazemsko korozijo. Te lastnosti omogočajo, da vpenjalna glava učinkovito deluje v pogojih visoke temperature in visokega vakuuma, kar zagotavlja vzdržljivost in zanesljivost, ki sta potrebni za dolgotrajno uporabo v okolju čistih prostorov.

Prilagajanje po meri je še ena pomembna prednost vpenjal ESC. Glede na posebne zahteve postopka izdelave polprevodnikov je mogoče dimenzije vpenjalne glave, konfiguracije elektrod in materialne sestave prilagoditi tako, da ustrezajo edinstvenim potrebam opreme in rezin, ki se obdelujejo. Ne glede na to, ali aplikacija vključuje plazemsko jedkanje, kemično nanašanje s paro (CVD) ali fizično nanašanje s paro (PVD), je mogoče vpenjalno glavo ESC oblikovati tako, da optimizira delovanje in ohranja celovitost rezine med obdelavo.