Elektrostatična vpenjalna glava

Elektrostatična vpenjalna glava Semicorex z uporabo keramike iz aluminijevega oksida visoke čistosti zagotavlja vrhunsko zmogljivost v nastavitvah, ki dajejo prednost natančnosti, stabilnosti in čistoči. Aluminijev oksid, znan tudi kot aluminijev oksid (Al2O3), je keramični material, znan po svojih izjemnih električnih izolacijskih lastnostih, visoki toplotni prevodnosti in izjemni mehanski trdnosti. Zaradi teh lastnosti je idealen material za izdelavo elektrostatične vpenjalne glave, zasnovan tako, da vzdrži zahtevne pogoje obdelave polprevodnikov. Keramični ESC iz aluminijevega oksida je zasnovan tako, da vzdrži visoke temperature, korozivna okolja in mehanske obremenitve med ravnanjem in obdelavo rezin, kar igra ključno vlogo pri zagotavljanju izkoristka in kakovosti polprevodniških naprav.

Osnovno načelo elektrostatične vpenjalne glave je elektrostatična sila, ki se uporablja za varno držanje rezine na mestu. Ta sila nastane z uporabo napetosti na elektrodah, vdelanih v keramični material. Interakcija med elektrostatičnim poljem in induciranimi naboji na površini rezine ustvari močno vpenjalno silo, ki drži rezino ob površini vpenjala. Zasnova keramičnega ESC iz aluminijevega oksida zagotavlja, da je ta vpenjalna sila enakomerno porazdeljena po rezini, kar zmanjšuje tveganje zdrsa ali poškodbe med obdelavo.

Ena od ključnih prednosti uporabe keramike iz aluminijevega oksida v konstrukciji elektrostatične vpenjalne glave so njene izjemne električne izolacijske lastnosti. Visoka dielektrična trdnost aluminijevega oksida omogoča uporabo visokih napetosti brez nevarnosti električne okvare, kar je ključnega pomena za ohranjanje celovitosti elektrostatičnega polja. To je še posebej pomembno pri postopkih, kot sta plazemsko jedkanje ali kemično nanašanje s paro, kjer je rezina izpostavljena visoko reaktivnim okoljem in bi lahko kakršna koli sprememba sile vpenjanja povzročila napake ali poškodbe rezine.

Keramika iz aluminijevega oksida ima poleg svojih električnih lastnosti odlično toplotno prevodnost, ki je bistvenega pomena za upravljanje toplote, ki nastane med obdelavo polprevodnikov. Sposobnost elektrostatične vpenjalne glave, da učinkovito odvaja toploto, pomaga vzdrževati stabilno temperaturo po rezini, kar zmanjšuje toplotne gradiente, ki bi lahko povzročili upogibanje ali druge oblike toplotnega stresa. Ta toplotna stabilnost je ključnega pomena pri zagotavljanju natančnosti in ponovljivosti postopkov, kot je fotolitografija, kjer lahko že majhna temperaturna odstopanja vplivajo na rezultat.