Vakuumska peč CVD in CVI

Semicorex je obsežen proizvajalec in dobavitelj izdelkov s prevleko iz silicijevega karbida na Kitajskem. Nudimo rešitve za peči po meri. Naša vakuumska peč CVD in CVI ima dobro cenovno ugodnost in pokriva številne evropske in ameriške trge. Veselimo se, da bomo postali vaš dolgoročni partner.

Pošlji povpraševanje

Opis izdelka

Vakuumska peč Semicorex CVD in CVI je visokokakovostno orodje, zasnovano za postopke kemičnega naparjevanja (CVD). Reakcijske temperature do 2200°C. Sposoben je odlagati široko paleto materialov, vključno s silicijevim karbidom, borovim nitridom, grafenom in drugimi. CVD peč ima robustno zasnovo in je izdelana iz visokokakovostnih materialov, ki zagotavljajo zanesljivost in vzdržljivost za dolgotrajno uporabo. Ima vodoravno in navpično strukturo.

Uporaba:C/C kompozitni zavorni kolut, lonček, kalup itd.

Značilnosti vakuumske peči Semicorex CVD in CVI

1. Robustna zasnova iz visokokakovostnih materialov za dolgotrajno uporabo;

2. Natančno nadzorovano dovajanje plina z uporabo krmilnikov masnega pretoka in visokokakovostnih ventilov;

3. Opremljen z varnostnimi funkcijami, kot sta zaščita pred previsoko temperaturo in zaznavanje uhajanja plina za varno in zanesljivo delovanje;

4.Uporaba več območij nadzora temperature, velika enakomernost temperature;

5.Posebej zasnovana komora za odlaganje z dobrim tesnilnim učinkom in odlično učinkovitostjo proti kontaminaciji;

6. Uporaba več kanalov za nanašanje z enakomernim pretokom plina, brez mrtvih vogalov za nanašanje in popolne površine za nanašanje;

7. Ima obdelavo za katran, trdni prah in organske pline med postopkom nanašanja

Izbirne funkcije:

•Vrata peči: vijačna/hidravlična/ročna dvižna vrsta; nihajno odpiranje/vzporedno odpiranje (velike velikosti)

vrata peči); ročno tesno/samodejno tesno z zaklepnim obročem

• Posoda peči: vse ogljikovo jeklo/notranja plast nerjavno jeklo/vse nerjavno jeklo

•Vroča cona peči: mehka ogljikova klobučevina/mehka grafitna klobučevina/trda kompozitna klobučevina/CFC

• Grelni element in dušilec: izostatični stiskalni grafit/grafit visoke čistosti, trdnosti in gostote/fini grafit

• Sistem procesnega plina: merilnik prostornine/mase pretoka

• Termočlen: tip K/tip N/tip C/tip S

Specifikacije CVD peči
Model	Velikost delovnega območja (Š × V × G) mm	Maks. Temperatura (°C)	Temperatura Izenačenost (°C)	Končni vakuum (Pa)	Hitrost povečanja tlaka (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

*Zgornje parametre je mogoče prilagoditi zahtevam procesa, niso sprejemljivi standard, podrobna specifikacija. bodo navedeni v tehničnem predlogu in dogovorih.