Plošče za poliranje rezin iz aluminijevega oksida

Semicorex aluminijeva rezina polirne ploščeso natančno obdelani deli, izdelani iz aluminijevega oksida visoke čistosti z izostatičnim stiskanjem, visokotemperaturnim sintranjem in natančno obdelavo. Idealni so za aplikacije natančnega poliranja s strogimi zahtevami za izjemno visoko površinsko natančnost in učinkovitost, zlasti za poliranje polprevodniških rezin, ker keramika iz aluminijevega oksida ponuja izjemne fizikalne in kemijske lastnosti.

---

Dolga življenjska doba za odlično odpornost proti obrabi

Visoka odpornost proti obrabi je bistvenega pomena za plošče za poliranje rezin, ki se uporabljajo pri visoko precizni obdelavi. Mohsova trdota keramike iz aluminijevega oksida je okoli 9, takoj za diamantom in silicijevim karbidom, kar omogoča, da plošče za poliranje rezin prenesejo delovne pogoje visoke hitrosti in visoke obremenitve med poliranjem polprevodniških rezin z nizko izgubo obrabe. S to odlično odpornostjo proti obrabi imajo plošče za poliranje rezin iz aluminijevega oksida dolgo življenjsko dobo, kar znatno zmanjša pogostost izklopov opreme zaradi zamenjave in zmanjša stroške vzdrževanja in zamenjave.

Izjemna toplotna stabilnost in odpornost na visoke temperature

Aluminijev oksidPlošče za poliranje rezin lahko ohranijo svoje fizikalne lastnosti in zmogljivost trenja v okoljih z visoko temperaturo 1000 ℃ zaradi svoje izjemne toplotne stabilnosti in odpornosti na visoke temperature. Primerne so za delovne pogoje pri visokih temperaturah, ki jih povzroča pogosto trenje, učinkovito preprečujejo toplotno deformacijo in prispevajo k ohranjanju konstantne polirane površine.

Zanesljiva kemična odpornost proti koroziji

Plošče za poliranje rezin iz aluminijevega oksida imajo zanesljivo odpornost proti kemični koroziji. Odporni so na večino kislin in alkalij, pa tudi na običajne raztopine za kemično poliranje, ki se uporabljajo v postopku CMP. Njihove površinske ravnosti ne bo ogrozila kemična korozija, kar bi vplivalo na kakovost površine polprevodniških rezin.

---

Aplikacije za plošče za poliranje rezin Semicorex Aluminijev oksid

1. Poliranje polprevodniških rezin

Plošče za poliranje rezin iz aluminijevega oksida se pogosto uporabljajo pri brušenju, grobem poliranju in končnem poliranju silicija, SiC, safirja in različnih podlag za rezine. Zahvaljujoč izjemno nizki hrapavosti in ravnosti površine nanometrskega merila lahko plošče za poliranje rezin iz aluminijevega oksida idealno izpolnjujejo zahtevne zahteve glede kakovosti površine naprednih polprevodniških postopkov, kot sta jedkanje in litografija.

2. Stanjšanje rezin in poliranje robov

Med postopkom redčenja rezin je mogoče uporabiti plošče za poliranje rezin iz aluminijevega oksida za natančno kontrolo debeline rezin in enakomerno odstranjevanje materialov hrbtne strani. V procesu poliranja robov lahko polirne plošče iz aluminijevega oksida pomagajo doseči tudi optimalno kakovost robov rezin z odpravljanjem neravnin in napak na robovih rezin.