Alumina robot Arm

Robot robot Semicorex Alumina je visokozmogljiv keramični del, zasnovan za ravnanje z rezinami in prenos nalog v proizvodnji polprevodnikov. Ta robotska roka, narejena iz aluminske keramike z visoko čistočo (Al₂o₃), ponuja prožnost, natančnost, zanesljivost in trajnost v čistih sobah.

Kar se izstopa v prid robot robot, so lastnostiAlumina keramikaMehanska trdnost in trdota. KotAluminaje bolj čista, alumina ohranja boljšo strukturno celovitost in je bolj odporna na mehansko obrabo in deformacijo. Kot material je alumina odlična izbira za robotske dele, ki se uporabljajo pri občutljivih in ponavljajočih se nalogah za ravnanje z rezinami, to je, ko mora robotska roka opraviti isto funkcijo in vzpostaviti stik z rezinami, da lahko manjše izkrivljanje, ki ga robot robot uporablja za rezino, stane izgube donosa objekta. Visoka trdota, tj. Toge površine, lahko pomaga pri abrazivni odpornosti in funkcionalnem življenju, to je podaljševanju življenja in trajanja storitve/ zamenjave na robotski komponenti.

Poleg mehanske vzdržljivosti je robot robot Alumina tudi odličen električni izolator. Upornost je do 10¹⁵ ω · cm, izolacijska trdnost pa je do 15 kV/mm pri sobni temperaturi, kar zagotavlja veliko varnejše okolje za delovanje, zlasti kadar je treba v opremi za obdelavo zmanjšati motenje električnih signalov. To postane pomembno pri zaščiti občutljivih polprevodniških komponent, ki se prenašajo med procesi z minimalnim tveganjem za poškodbe elektrostatičnega izcedka (ESD).

Keramika iz glinice je odlična za ohranjanje stabilnosti pri zelo visokih temperaturah. Tališča je približno 2050 ° C in bo zdržala visoke temperature v polprevodniški toplotni obdelavi brez upogibanja ali dimenzijske natančnosti. Visoka toplotna odpornost omogoča uporabo roke v procesih, kot sta hitro toplotno žarjenje (RTA) ali kemično odlaganje hlapov (CVD), kjer sta natančnost in toplotna stabilnost kritična.

Ena izmed drugih pomembnih prednosti robotske robot je njena inertnost. Njegova površina je inertna za večino čistilnih sredstev in procesne pline, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov. Zato bo ostala brez kontaminacije in ne bo prispevala k kontaminaciji na površini rezin. Ta kemična inertnost je ključnega pomena za doseganje ultra čistilnih proizvodnih pogojev in zagotavljanje doslednih zmogljivosti naprave.

Alumina keramikaje tudi cenovno ugodna možnost za polprevodniško orodje. Na voljo je kot surovina, obdelavi procesov keramike glinice pa so dobro razumljeni in lahko razširljivi. To omogoča, da se ponovljiva in dosledna toleranca za kakovostne dele proizvaja po konkurenčni ceni. Zaradi mešanice zmogljivosti in cenovne dostopnosti je robot robota idealna za OEM -ove in polprevodniške Fabs, kjer potrebujete zanesljive komponente avtomatizacije, ki banke ne zlomijo.

Če povzamemo, Alumina Robot ARM zagotavlja visoke mehanske zmogljivosti, visoko dielektrično zmogljivost, visoko toplotno odpornost, visoko kemijsko zmogljivost, vse z dokazano proizvodnjo po ekonomični ceni. Skupaj te značilnosti zmogljivosti omogočajo zanesljivo in učinkovito za natančno uporabo rezin v proizvodnji polprevodnikov, kar omogoča izboljšanje donosa, potencialno znižanje tveganja za kontaminacijo in izboljšanje splošne učinkovitosti opreme.