Posemonske osnovne plošče za pritrditev glinice so visokozmogljive keramične komponente, zasnovane za natančno ravnanje z rezinami pri proizvodnji polprevodnikov. Njegova vrhunska moč, izolacija in toplotna stabilnost je idealna za zahtevna okolja za avtomatizacijo čistih prostorov.*
Posemonske osnovne plošče za pritrdilne alumine so keramični izdelki z visoko čistostjo, zasnovani kot trajne in stabilne podlage za pritrditev delovnih chucks v opremi za izdelavo polprevodnikov. Te plošče zagotavljajo kritično mehansko podporo in poravnavo za operacije obdelave rezin, kot so litografija, jedkanica, odlaganje in pregled. Ključnega pomena je natančno poravnavo dela z drugimi sistemskimi komponentami, da se zagotovi, da se lahko obdelava rezin pojavi z zahtevano zvestobo. Plošče se izdelujejo s pomočjo tehnik obdelave, značilnih za keramiko, da dosežejo potrebno ravnost, visokotemperaturno trajnost in dolgoročno zanesljivost za izpolnjevanje ostrih potreb sodobne izdelave polprevodnikov v procesnih in čistih okoljih.
Osnovne plošče za pritrdilne plošče iz polpredAluminaImeti raven čistosti ≧ 99,5% (značilno). Alumina z visoko čistočo ima dobre mehanske in toplotne lastnosti ter trdoto. Alumina z visoko čistočo ima odlične lastnosti električnih izolacijskih lastnosti, ki omogočajo tudi uporabo teh plošč v vakuumskih in visokonapetostnih aplikacijah, kjer so lahko težava električne motnje. Alumina bo odporna na toplotno kolesarjenje, kar omogoča, da ploščice ohranijo boljšo dimenzijsko natančnost kot večina materialov in je koristna za ohranjanje poravnave ali strukturne stabilnosti zaradi zmanjšane toplotne ekspanzije. Ta dejavnik je pomemben pri zagotavljanju ponovljivosti in implicitnih toleranc procesov, hkrati pa deluje preko razširjenih proizvodnih ciklov.
V sistemih za obdelavo polprevodnikov pritrdilna osnovna plošča ni zgolj naprava za mehansko pritrditev. Je medij toplotnega stika med Chuckom in preostalim opremo in je ključnega pomena za toplotno disipacijo, strukturno celovitost in izolacijo vibracij. Dejanja obdelave, kot so (vendar ne omejena na) CVD, PVD ali ionska implantacija, kjer so visoke temperature in vakuumski pritiski običajni, zahtevajo, da je pritrdilna podlaga toplotno odporna, kemično inertna in odporna, mehansko zvočna in odporna na termični šok. Kemična inertnost je ključnega pomena, ker mora biti nosilca združljiv z reaktivnimi plini, pa tudi s čiščenjem kemikalij, ki podaljša življenjsko dobo pritrditve in preprečuje kontaminacijo.
Vsaka osnovna plošča, ki jo pritrdi na alumina, je obdelana za tolerance, ki jih zahtevajo polprevodniški originalni originalni origin, in integratorji opreme. Plošče so obdelane do tesnih toleranc za debelino, nihanje višine in ravnost, da se zagotovi največja stabilnost in ponovljivost. Te pritrdilne plošče je mogoče narediti z montažnimi luknjami, režami ali nasprotnimi povezavami do specifikacij strank, da bi bolje prilagodili delovnim izpisom, mehanskimi fazami ali drugo opremo. Keramika alumina se obdeluje z uporabo sodobnih tehnik sintranja in natančnosti za optimizacijo enakomerne mikrostrukture in kakovosti površine, da se zagotovi dosleden toplotni stik in poravnavo za uporabo skozi čas.
Osnovne plošče za pritrditev na aluminijo Semicorex se uporabljajo v različnih aplikacijah, vključno z upravljalniki rezin, robotskimi sistemi za prenos, sklopi vakuumskih Chucka in merološkimi fazami. Ta zanesljivost in trajnost v različnih zahtevnih procesnih situacijah omogočata, da izberejo proizvodnjo orodij, ki iščejo robustne, dolgotrajne, nizko vzdrževalne keramične komponente. Naša inženirska skupina sodeluje s strankami, da bi zagotovili edinstvene rešitve, ki so določene za vsako ploščo, da bi povečali učinkovitost proizvodnje v polprevodniku.
Osnovne plošče pritrdilne alumine so več kot le mehanska podpora; Je ključna sestavina natančnega inženiringa v industriji polprevodnikov. Z odlično mehansko stabilnostjo, čistostjo in konfiguracijo zagotavljajo natančno poravnavo, dolgo življenjsko dobo in zanesljivo delovanje v obsežnem obsegu procesnih orodij. Za visoko zmogljive montažne bazne plošče, ki izpolnjujejo velika pričakovanja današnjih proizvajalcev polprevodnikov, Trust Semicorex.