Keramični manipulator iz aluminijevega oksida

Keramični manipulator iz aluminijevega oksidase imenuje tudi keramične vilice iz aluminijevega oksida in končni efektor za ravnanje z rezinami. Nameščen je na robotu za obdelavo rezin in je enakovreden robotovi roki. Uporablja se za prenašanje, transport in pozicioniranje polprevodniških rezin.Silicijeve rezineso izjemno dovzetni za kontaminacijo z drugimi delci, zato se z njimi običajno ravna v vakuumskem okolju, da se zagotovi čistoča. Keramični manipulatorji iz aluminijevega oksida uporabljajo podtlačno sesanje za odstranjevanje rezin in prenašanje polprevodniških rezin s teleskopiranjem, vrtenjem in dvigovanjem roke. Znotraj keramičnega manipulatorja iz aluminijevega oksida so zračne luknje in prezračevalni utori, ki lahko tvorijo vakuum pri črpanju zraka, tako da se lahko polprevodniške rezine adsorbirajo z lahkim stikom, ne da bi jih stisnili ali poškodovali.

Znano je, da čim čistejša je sestavaaluminijeva keramikaje, večja bo njegova moč. Keramični manipulatorji Semicorex iz aluminijevega oksida so izdelani iz keramike iz aluminijevega oksida visoke čistosti. Posledica tega je izjemna mehanska trdnost in trdota. Njihova odpornost proti obrabi močno presega odpornost jekla in kromiranega jekla, kar jim omogoča, da sčasoma ohranijo natančnost površine v okoljih z visokim trenjem, kar zmanjša tveganje za praske na rezinah in jih naredi idealne za visoko natančno rokovanje. Ta keramični manipulator iz aluminijevega oksida ima visoko upornost. Njegove izjemne električne izolacijske lastnosti lahko učinkovito preprečijo elektrostatične motnje in zmanjšajo tveganje adsorpcije delcev, da ohranijo čisto površino rezin. Poleg tega proizvodni proces polprevodnikov vključuje kompleksna vezja in visokonapetostna okolja znotraj opreme. Visokotporni keramični manipulator iz aluminijevega oksida učinkovito blokira prevodnost toka in zagotavlja električno varnost med ravnanjem s polprevodniškimi rezinami. Zahvaljujoč visoki temperaturni odpornosti in toplotni stabilnosti keramike iz aluminijevega oksida se manipulator med postopkom toplotne obdelave polprevodnikov zelo malo deformira, lahko natančno pozicionira rezine in se izogne ​​odstopanju natančnosti zaradi toplotne deformacije. Poleg tega ima ta material odlično kemično stabilnost in je zelo odporen proti koroziji s kislinami, alkalijami, staljenimi kovinami itd. Ni enostavno reagirati z drugimi snovmi, da bi sprostili onesnažujoče delce, in lahko učinkovito zaščiti polprevodniške dele pred kemično kontaminacijo.