Alumina keramični končni efektor

Keramična končna efektorja Semicorex Alumina je bistveno orodje v avtomatiziranih sistemih prenosa rezin, ki ponuja neprimerljivo mehansko trdnost, toplotno stabilnost in kemično odpornost. Izdelano z visoko čistostjoAlumina (al₂o) keramika, ta končni efektor je zasnovan tako, da ustreza strogim zahtevam obdelave rezin, kjer so natančnost, čistoča in trajnost najpomembnejši.

Polprevodniški robot roke so eden od pomembnih delov polprevodniške opreme. Običajno so sestavljeni iz krmilnikov, voznikov, rok in končnih efektorjev. Zanje je značilna visoka čistoča, visoka stabilnost, velika natančnost, visoka učinkovitost in velika zanesljivost. Polprevodniški roboti se uporabljajo predvsem v postopku prednjega dela proizvodnje polprevodnikov za prevoz, prevoz in pozicioniranje polprevodniških rezin.

Keramična struktura z vsebnostjo glinic, ki je običajno večja od 99,5%, bo zagotovila vrhunsko trdoto in odpornost na obrabo za ponavljajoče se gibe v visoko natančnih okoljih brez degradacije sčasoma. Visoka toplotna prevodnost in nizka toplotna ekspanzija glinice omogočata dimenzijsko stabilnost v okoljih s povišano temperaturo, kar je nujno pri večini čistih operacij v polprevodnikih, kot so v etcherju, depozitu, inšpekcijskem pregledu ali čiščenju.

TheAlumina keramikaKončni efektor ima opazno značilno površinsko zaključek, ki je gladka in ima nizko poroznost, zaradi česar je skoraj nič ustvarjenih delcev in zmanjšanje ali nič vpliva na onesnaževalce med ravnanjem z režami. Poleg tega je alumina kemično inertna. To pomeni, da ne bo reagirala s katerim koli od procesnih plinov in kakršnih koli procesnih tekočin, s katerimi je v stiku. To ščiti rezine in kakršno koli kontaminacijo zase in opremo pred vsem, kar lahko povzroči korozijo.

Na splošno se uporabljajo kot končni efektorji ali vpenjalni mehanizem, za robotske roke ali prenosne module v opremi in opremo za izdelavo rezin, kot so orodje za etcher ali depostion, pregledovanje ali čistilno orodje z natančnimi režami, utori ali vakuumskimi kanali, ki zajemajo dejansko velikost rezin, ne glede na to, da gre za 100 mm, 200 mm ali 300 mm. Končni efektorji običajno prenesejo hitrosti prenosa rezin pri 25 cm/sekundo.

Možnosti prilagajanja obstajajo v skladu z linijami, zasnovanih za posebne vmesnike opreme ali velikosti rezin. Strukturna togost glinice omogoča tanke in lahke profile, ki zmanjšujejo celotno maso sistema za upravljanje in vodijo do hitrejših odzivnih časov. Nekatere konfiguracije lahko dodajo tudi protistatične ali izolacijske komponente, da se občutljivi elektronski substrati zagotovijo dodatno zaščito.

Na splošno alumina keramični končni efektor zagotavlja učinkovito rešitev, ki spodbuja izboljšan donos in zmanjšano kontaminacijo, kjer je operativna zanesljivost ključni elementi za linijo obdelave rezin. Učinkovit in stroškovno učinkovit in stroškovno učinkovit karamični končni efektor se s svojo trajnostjo in telesnimi lastnostmi razlikuje kot priljubljena izbira med proizvajalci in proizvajalci polprevodniških opreme, ki potrebujejo stroge proizvodne standarde v ultra-čistilnem okolju.