Robotske roke iz aluminijevega oksida Bernoulli

​Robotske roke se večinoma uporabljajo v sprednjih procesih proizvodnje polprevodnikov, kot sta fotolitografija in jedkanje, kjer neposredno sodelujejo pri rokovanju, prenosu in pozicioniranju polprevodniških rezin. Semicorexaluminijev oksidRobotske roke Bernoulli so keramični končni efektorji, ki dosegajo adsorpcijo in prenos rezin na podlagi Bernoullijevega principa, kar zagotavlja izjemno učinkovitost glede čistoče, stabilnosti, natančnosti, učinkovitosti in zanesljivosti.

Brezkontaktna adsorpcija

Robotske roke Bernoulli iz aluminijevega oksida Semicorex lahko dosežejo čvrsto in stabilno brezkontaktno adsorpcijo rezin z uporabo njihove posebej zasnovane konfiguracije in sistema pretoka zraka. S to brezkontaktno metodo delovanja se je mogoče izogniti neposrednemu stiku s polprevodniškimi rezinami in močno preprečiti kontaminacijo rezin ali poškodbe zaradi fizičnega stika, kar je še posebej primerno za ultra čiste delovne pogoje in občutljiv prenos rezin.

Zanesljivo fizično in kemično delovanje

Keramika iz aluminijevega oksida ima odlično trdoto in moč, zaradi česar je Semicorex aluminijev oksid Bernoullirobotske rokezelo primeren za dolgoročno rokovanje s polprevodniškimi rezinami brez deformacij in poškodb.

Robotske roke Bernoulli iz aluminijevega oksida Semicorex zagotavljajo tudi zanesljivo odpornost proti kemični koroziji in lahko prenesejo zahtevne korozivne pline in plazemska delovna okolja ter izkazujejo stalno vzdržljivost v daljšem časovnem obdobju.

Stroga kontrola čistoče

Robotske roke Bernoulli iz aluminijevega oksida Semicorex so izdelane iz prahu aluminijevega oksida visoke čistosti z natančnim izostatičnim stiskanjem in visokotemperaturnim sintranjem. Ta natančna izbira materiala in metoda obdelave omogoča, da imajo robotske roke Semicorex aluminijev Bernoulli čisto in gosto keramično strukturo. To bistveno zmanjša tveganje za kontaminacijo rezin, ki jo povzročajo nezaželene nečistoče iz delovnih pogojev.

Vrhunski natančen nadzor

Robotske roke Semicorex iz aluminijevega oksida Bernoulli, obdelane z natančnim brušenjem in poliranjem, zagotavljajo izjemno natančnost dimenzij in vrhunsko ravnost površine, zaradi česar so zelo primerne za visoko natančno avtomatizirano proizvodnjo polprevodnikov. Poleg tega se robotske roke Semicorex iz aluminijevega oksida Bernoulli ponašajo z odlično toplotno stabilnostjo, tudi če so izpostavljene okolju z velikimi temperaturnimi nihanji, lahko ohranijo odlično ponavljajoče se pozicioniranje in natančnost rokovanja.