Vakuumska vpenjalna glava Al2O3

Aplikacije v proizvodnji polprevodnikov

SemicorexAl2O3 Vacuum Chuck je vsestransko orodje, ki se uporablja v več fazah proizvodnje polprevodnikov:

Redčenje: Med postopkom redčenja rezin vakuumska vpenjalna glava Al2O3 zagotavlja stabilno in enakomerno podporo, kar zagotavlja visoko natančno redukcijo substrata. To je ključnega pomena za izboljšanje odvajanja toplote čipa in izboljšanje zmogljivosti naprave.

Rezanje na kocke: V fazi rezanja na kocke, kjer se oblati režejo na posamezne kose, vakuumska vpenjalna glava Al2O3 ponuja varno in stabilno adsorpcijo, kar zmanjšuje tveganje poškodb in zagotavlja čiste reze.

Čiščenje: gladka in enakomerna adsorpcijska površina vakuumske vpenjalne glave Al2O3 omogoča, da je primerna za postopke čiščenja rezin, kar zagotavlja, da so kontaminanti učinkovito odstranjeni brez poškodb rezin.

Transport: med ravnanjem z rezinami in transportom zagotavlja vakuumska vpenjalna glava Al2O3 zanesljivo in varno podporo ter zmanjšuje tveganje poškodb in kontaminacije.

SemicorexVakuumChuck Flow

Prednosti vakuumske vpenjalne glave Semicorex Al2O3

1. Enotna mikroporozna keramična tehnologija

Vakuumska vpenjalna glava Al2O3 je izdelana z mikroporozno keramično tehnologijo, ki vključuje uporabo nanopraškov enake velikosti. Ta tehnologija zagotavlja enakomerno porazdelitev in medsebojno povezanost por, kar ima za posledico visoko poroznost in enakomerno gosto strukturo. Ta enakomernost izboljša delovanje vakuumske vpenjalne glave in zagotavlja dosledno in zanesljivo podporo za rezine.

2. Izjemne lastnosti materiala

Izjemno čist 99,99 % aluminijev oksid (Al2O3), ki se uporablja v vakuumski vpenjalni glavi Al2O3, ponuja vrsto izjemnih lastnosti:

Toplotne lastnosti: Vakuumska vpenjalna glava Al2O3 z visoko toplotno odpornostjo in odlično toplotno prevodnostjo prenese visoke temperature, ki se običajno pojavljajo pri proizvodnji polprevodnikov.

Mehanske lastnosti: Visoka trdnost in trdota aluminijevega oksida zagotavljata, da je vakuumska vpenjalna glava Al2O3 vzdržljiva in odporna na obrabo ter zagotavlja dolgotrajno delovanje.

Druge lastnosti: Aluminijev oksid nudi tudi visoko električno izolacijo in odpornost proti koroziji, zaradi česar je vakuumska vpenjalna glava Al2O3 primerna za širok spekter proizvodnih okolij.

3. Vrhunska ploskost in vzporednost

Ena od ključnih prednosti vakuumske vpenjalne glave Al2O3 je njena visoka ravnost in vzporednost. Te lastnosti so ključne za zagotavljanje natančnega in stabilnega ravnanja z rezinami, zmanjšanje tveganja poškodb in zagotavljanje doslednih rezultatov obdelave. Poleg tega dobra zračna prepustnost in enakomerna adsorpcijska sila vakuumske vpenjalne glave Al2O3 zagotavljata gladko in zanesljivo delovanje.

4. Možnosti prilagajanja

Pri Semicorexu razumemo, da ima vsak proizvodni proces polprevodnikov edinstvene zahteve. Zato ponujamo prilagojene vakuumske vpenjalne glave, prilagojene vašim posebnim potrebam. Glede na zahtevano ravnost in proizvodne stroške priporočamo različne osnovne materiale, s čimer zagotovimo, da sta teža in zmogljivost vakuumske vpenjalne glave optimizirani za vašo uporabo. Ti materiali vključujejo nerjaveče jeklo SUS430, aluminijevo zlitino 6061, gosto keramiko iz aluminijevega oksida (slonokoščene barve), granit in gosto keramiko iz silicijevega karbida.

Merjenje CMM z vakuumsko vpenjalno napravo Al2O3