Strukturne razlike med različnimi vrstami reaktorjev

Na podlagi konfiguracije reakcijske komore je oprema za toplotno obdelavo (cevna oprema za peč) v glavnem razdeljena v tri kategorije: navpične pečne cevi, vodoravne pečne cevi in ​​peči za hitro termično obdelavo (RTP).

Vertikalne cevi za peč imajo vertikalno razporejene kvarčne cevi, z rezinami, nameščenimi okoli cevi za ogrevanje. Njihove glavne prednosti so enakomerna porazdelitev temperature, natančen nadzor atmosfere, visoka avtomatizacija, manjša kontaminacija z delci, majhen odtis in podpora za serijsko obdelavo (zlasti primerna za 12-palčne rezine), zaradi česar so trenutno na voljo glavna oprema. Velikost svetovnega trga je leta 2024 dosegla 3,2 milijarde dolarjev (podatki SEMI). Njihove pomanjkljivosti vključujejo enostavno ločevanje plina in tekočine ter tok medija navzdol, ki lahko povzroči izgorevanje cevi peči.

Horizontalne cevi za peč imajo vodoravno nameščene kvarčne cevi, ki obdelujejo 100-200 rezin naenkrat. Njihove prednosti vključujejo enakomeren pretok plina in tekočine v kuriščni cevi in ​​natančnejši nadzor temperature. Njihove slabosti so večji tloris in večja poraba vmesnih cevnih nosilcev iz visokolegiranega jekla. Strukturno vodoravne cevi za peč postavljajo rezine navpično v vodoravne cevi za obdelavo.

Peči za hitro termično žarjenje (RTP) uporabljajo halogenske infrardeče žarnice za hitro segrevanje posameznih rezin, ki ponujajo hitre stopnje segrevanja in ohlajanja, ki spremenijo samo temperaturo rezin, ne da bi spremenili temperaturo v komori. Primerni so za hitro žarjenje v majhnih serijah, ne pa za množično proizvodnjo.

Pri obdelavi rezin horizontalne cevi peči postavijo rezino na kremenčev čoln, ta pa na nosilni okvir iz silicijevega karbida (SiC). Podporni okvir se nato potisne v cev kremenčeve peči, kjer se rezina podvrže reakciji v coni s konstantno temperaturo. Na drugi strani navpične cevi peči postavijo rezino na kremenčev stolp in jo počasi dvignejo v cev kvarčne peči za obdelavo. Po reakciji se rezina počasi spusti, da se prepreči upogibanje ali zlom.

Semicorex dobavlja visokokakovostne izdelke po merireaktor s kvarčno pečjo. Naši izdelki so zasnovani tako, da zagotavljajo vrhunsko toplotno stabilnost, podaljšano življenjsko dobo in izjemno doslednost postopka. Za prilagojene rešitve ali dodatne tehnične informacije se obrnite na našo inženirsko ekipo.

Telefon: +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com