Postopki žarjenja v sodobni proizvodnji polprevodnikov

Ker se tehnološka vozlišča še naprej krčijo, predstavlja nastanek ultra plitvih stičišč velik izziv. Vključno s postopki termičnega žarjenjaHitro termično žarjenje (RTA)in žarjenje z bliskovno svetilko (FLA) sta ključni tehniki, ki ohranjata visoke stopnje aktivacije nečistoč, hkrati pa zmanjšujeta difuzijo, kar zagotavlja optimalno delovanje naprave.

1. Nastanek ultra plitkega stičišča:

Ker se tehnološka vozlišča krčijo, je oblikovanje ultra plitvih stičišč vse večji izziv. Tehnike, kot je hitro termično žarjenje (RTA) in žarjenje z bliskovno svetilko (FLA) sta ključnega pomena za doseganje visokih stopenj aktivacije nečistoč ob zmanjšanju difuzije, s čimer se zagotovi optimalno delovanje naprave.

2. Modifikacija dielektrikov z vrati High-k:

Žarjenje po nanosu (PDA) znatno izboljša električne lastnosti dielektrikov z vrati z visokim k. Ta postopek zmanjša tokove uhajanja vrat in poveča dielektrične konstante, ki so bistvenega pomena za napredne logične in pomnilniške naprave.

3. Tvorba kovinskih silicidov:

Optimizacija kovinskih silicidov, kot sta CoSi in NiSi, je bistvena za izboljšanje kontaktne in nasipne odpornosti. Natančen nadzor nad pogoji žarjenja olajša ustvarjanje idealnih faz zlitine, kar poveča splošno učinkovitost naprave.

4. 3D integracijske tehnologije:

V tehnologijah, kot sta 3D NAND in 3D DRAM, je treba postopke žarjenja uporabiti v več plasteh. Hitre toplotne tehnike igrajo ključno vlogo pri zagotavljanju, da vsak sloj doseže optimalno učinkovitost.

Žarjenje je ključnega pomena pri proizvodnji polprevodnikov, saj omogoča popravilo poškodb mreže, aktivacijo nečistoč, modifikacijo filma in tvorbo kovinskega silicida z natančnim nadzorom temperature, časa in toplotnih proračunov. Ker se tehnološka vozlišča krčijo, napredne metode žarjenja, kot jeRTA, FLA in lasersko žarjenje s konicami so postali običajni. V prihodnje se bo postopek žarjenja še naprej razvijal, da bo izpolnil zahteve nastajajočih materialov in naprav.

Semicorex ponuja vodilne v industrijiraztopine za žarjenje, ki zagotavlja, da vaše polprevodniške naprave izpolnjujejo najvišje standarde zmogljivosti z natančnostjo in zanesljivostjo.

Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com