2024-05-29
I. Polprevodniški substrat
Polprevodniksubstrattvori temelj polprevodniških naprav, ki zagotavlja stabilno kristalno strukturo, na kateri lahko rastejo potrebne plasti materiala.Podlageje lahko monokristalen, polikristalen ali celo amorfen, odvisno od zahtev uporabe. Izbirasubstratje ključnega pomena za delovanje polprevodniških naprav.
(1) Vrste substratov
Odvisno od materiala običajni polprevodniški substrati vključujejo substrate na osnovi silicija, safirja in kremena.Substrati na osnovi silicijase pogosto uporabljajo zaradi svoje stroškovne učinkovitosti in odličnih mehanskih lastnosti.Monokristalni silicijevi substrati, znani po visoki kakovosti kristalov in enakomernem dopiranju, se v veliki meri uporabljajo v integriranih vezjih in sončnih celicah. Safirne podlage, cenjene zaradi vrhunskih fizikalnih lastnosti in visoke preglednosti, se uporabljajo pri izdelavi LED in drugih optoelektronskih naprav. Kvarčni substrati, cenjeni zaradi svoje toplotne in kemične stabilnosti, najdejo uporabo v napravah višjega cenovnega razreda.
(2)Funkcije substratov
Podlagev polprevodniških napravah opravljajo predvsem dve funkciji: mehansko podporo in toplotno prevodnost. Podlage kot mehanske podpore zagotavljajo fizično stabilnost ter ohranjajo obliko in dimenzijsko celovitost naprav. Poleg tega podlage olajšajo odvajanje toplote, ki nastane med delovanjem naprave, kar je ključnega pomena za upravljanje toplote.
II. Polprevodniška epitaksija
Epitaksijavključuje nanašanje tankega filma z enako mrežno strukturo kot substrat z uporabo metod, kot sta nanašanje s kemično paro (CVD) ali epitaksija z molekularnim žarkom (MBE). Ta tanek film ima na splošno višjo kristalno kakovost in čistost, kar izboljšuje učinkovitost in zanesljivostepitaksialne rezinev proizvodnji elektronskih naprav.
(1)Vrste in uporaba epitaksije
Polprevodnikepitaksijatehnologije, vključno s silicijevo in silicij-germanijevo (SiGe) epitaksijo, se pogosto uporabljajo v sodobni proizvodnji integriranih vezij. Na primer, gojenje plasti intrinzičnega silicija višje čistosti na asilikonska rezinalahko izboljša kakovost rezine. Osnovno območje heterospojnih bipolarnih tranzistorjev (HBT) z uporabo SiGe epitaksije lahko izboljša emisijsko učinkovitost in tokovni dobiček ter tako poveča mejno frekvenco naprave. Območja izvora/odtoka CMOS z uporabo selektivne Si/SiGe epitaksije lahko zmanjšajo serijsko odpornost in povečajo tok nasičenja. Napeta silicijeva epitaksija lahko povzroči natezno napetost za povečanje mobilnosti elektronov in tako izboljša hitrost odziva naprave.
(2)Prednosti epitaksije
Glavna prednostepitaksijaleži v natančnem nadzoru nad postopkom nanašanja, kar omogoča prilagajanje debeline in sestave tankega filma za doseganje želenih lastnosti materiala.Epitaksialne rezineizkazujejo vrhunsko kakovost in čistost kristalov, kar bistveno izboljša zmogljivost, zanesljivost in življenjsko dobo polprevodniških naprav.
III. Razlike med substratom in epitaksijo
(1)Struktura materiala
Substrati imajo lahko monokristalne ali polikristalne strukture, medtem koepitaksijavključuje odlaganje tankega filma z enako mrežno strukturo kotsubstrat. Posledica tega jeepitaksialne rezinez monokristalnimi strukturami, ki nudijo boljšo zmogljivost in zanesljivost pri izdelavi elektronskih naprav.
(2)Metode priprave
Priprava napodlageobičajno vključuje fizikalne ali kemične metode, kot so strjevanje, rast raztopine ali taljenje. V nasprotju,epitaksijase v prvi vrsti opira na tehnike, kot sta nanašanje s kemično paro (CVD) ali epitaksija z molekularnim žarkom (MBE) za nanašanje filmov materiala na podlage.
(3)Področja uporabe
Podlagese večinoma uporabljajo kot temeljni material za tranzistorje, integrirana vezja in druge polprevodniške naprave.Epitaksialne rezinevendar se med drugimi naprednimi tehnološkimi področji običajno uporabljajo pri izdelavi visoko zmogljivih in visoko integriranih polprevodniških naprav, kot so optoelektronika, laserji in fotodetektorji.
(4)Razlike v zmogljivosti
Delovanje substratov je odvisno od njihove strukture in lastnosti materiala; na primer,monokristalni substratikažejo visoko kristalno kakovost in konsistenco.Epitaksialne rezinepo drugi strani imajo višjo kristalno kakovost in čistost, kar vodi do vrhunske zmogljivosti in zanesljivosti v procesu izdelave polprevodnikov.
IV. Zaključek
Skratka, polprevodnikpodlageinepitaksijase bistveno razlikujejo po strukturi materiala, načinih priprave in področjih uporabe. Substrati služijo kot temeljni material za polprevodniške naprave, ki zagotavljajo mehansko podporo in toplotno prevodnost.Epitaksijavključuje nanašanje visokokakovostnih kristalnih tankih filmovpodlageza izboljšanje zmogljivosti in zanesljivosti polprevodniških naprav. Razumevanje teh razlik je ključnega pomena za globlje razumevanje polprevodniške tehnologije in mikroelektronike.**
Semicorex ponuja visokokakovostne komponente za substrate in epitaksialne rezine. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.
Kontaktna telefonska številka +86-13567891907
E-pošta: sales@semicorex.com