Prevleka v termičnem polju monokristalov polprevodniškega silicija

Prevlečeni deli v polprevodniškem silicijevem monokristalnem vročem polju so na splošno prevlečeni z metodo CVD, vključno s pirolitičnim ogljikovim premazom,Prevleka iz silicijevega karbidainPrevleka iz tantalovega karbida, vsak z različnimi lastnostmi.

Skupne točke: substrat je izostatični grafit visoke čistosti, na splošno manj kot 5 ppm pepela; premaz se uporablja metoda CVD; prevleka je v bistvu 100 % ogljik ali silicijev karbid; po nanosu je površina razmeroma gosta, plin, zlasti silicijeve pare ali plin silicijevega oksida v peči, se lahko v bistvu blokira; tudi lastno izhlapevanje prahu je zelo majhno.

Razlike: standardna debelina prevleke, pirolitičnega ogljikovega premaza je na splošno približno 40um; Prevleka iz silicijevega karbida je na splošno narejena približno 100 um, vendar je glede na različne potrebe kupcev mogoče narediti 30 um ~ 150 um, vključno z enim premazom in dvema premazoma; prevleka iz tantalovega karbida je na splošno 35±15um.

Pirolitični ogljikov premaz, njegova gostota je enakovredna gostoti neporoznega grafita, kar je približno 2,2. Ima nizko upornost in visoko toplotno prevodnost v vzporedni smeri površine, tako da lahko ohranja konstantnost površinske temperature, ima pa tudi nizek koeficient toplotnega raztezanja in visok modul elastičnosti. V pravokotni smeri površine je koeficient toplotnega raztezanja večji in toplotna prevodnost manjša.

Pri izdelkih, prevlečenih s silicijevim karbidom, je modul elastičnosti prevleke zelo visok, več desetkrat višji od modula elastičnosti notranjega grafitnega substrata, zato je treba z njim ravnati previdno, da preprečimo zlom izdelka.

Vsebnost nečistoč s pirolitičnim ogljikovim premazom in premazom iz silicijevega karbida je manjša od 5 ppm, kjer je vsebnost glavnega kovinskega elementa manjša od 0,1 ali 0,01 ppm, težje je obravnavati element bora 0,01 ali 0,15 ppm.

Semicorex ponuja visokokakovosten izdelek za prevleko CVD za polprevodnike s prilagojeno storitvijo. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com