Kaj so grafitni sprejemniki, prevlečeni s SiC?

Pladenj (osnova), ki podpira SiC rezine, znan tudi kot "pogrebnik,« je osrednja komponenta opreme za proizvodnjo polprevodnikov. In kaj točno je ta suceptor, ki nosi rezine?

V procesu izdelave rezin je treba substrate dodatno zgraditi z epitaksialnimi plastmi za izdelavo naprave. Tipični primeri vključujejoLED oddajniki, ki zahtevajo epitaksialne plasti GaAs na vrhu silicijevih substratov; na prevodnih substratih SiC se gojijo epitaksialne plasti SiC za naprave, kot so SBD in MOSFET, ki se uporabljajo v visokonapetostnih in visokotokovnih aplikacijah; napolizolacijski substrati SiC, GaN epitaksialne plasti so izdelane za izdelavo naprav, kot so HEMT, ki se uporabljajo v RF aplikacijah, kot so komunikacije. Ta proces je močno odvisen od opreme za CVD.

Pri CVD opremi substratov ni mogoče postaviti neposredno na kovino ali preprosto podlago za epitaksialno nanašanje, saj vključuje različne vplivne dejavnike, kot so smer pretoka plina (vodoravno, navpično), temperatura, tlak, stabilnost in odstranjevanje kontaminantov. Zato je pred uporabo tehnologije CVD za nanos epitaksialnih plasti na substrat potrebna podlaga, na katero je podlaga postavljena. Ta baza je znana kot aGrafitni sprejemnik, prevlečen s SiC(imenovan tudi podstavek/pladenj/nosilec).

Grafitni sprejemniki, prevlečeni s SiC, se običajno uporabljajo v opremi za metalorgansko kemično naparjevanje (MOCVD) za podporo in ogrevanje monokristalnih substratov. Termična stabilnost in enakomernost grafitnih suceptorjev, prevlečenih s SiC, igrata ključno vlogo pri določanju kakovosti epitaksialne rasti materiala, zaradi česar so kritični sestavni deli opreme MOCVD.

Tehnologija MOCVD je trenutno glavna tehnika za gojenje tankoslojne epitaksije GaN v proizvodnji modrih LED. Ponuja prednosti, kot so preprosto delovanje, nadzorovana hitrost rasti in visoka čistost proizvedenih tankih plasti GaN. Susceptorji, ki se uporabljajo za epitaksialno rast tankega filma GaN, kot pomembna komponenta v reakcijski komori opreme MOCVD, morajo imeti visoko temperaturno odpornost, enakomerno toplotno prevodnost, dobro kemično stabilnost in močno odpornost na toplotni šok. Grafitni materiali lahko izpolnjujejo te zahteve.

Grafitni sprejemniki so ena od osrednjih komponent v opremi MOCVD in služijo kot nosilci in oddajniki toplote za substratne rezine, kar neposredno vpliva na enotnost in čistost tankoslojnih materialov. Posledično njihova kakovost neposredno vpliva na pripravo Epi-Wafljev. Vendar pa lahko grafit med proizvodnjo korodira in se razgradi zaradi prisotnosti korozivnih plinov in ostankov kovinskih organskih spojin, kar znatno skrajša življenjsko dobo grafitnih sprejemnikov. Poleg tega lahko odpadli grafitni prah povzroči kontaminacijo čipov.

Pojav tehnologije premazov ponuja rešitev tega problema z zagotavljanjem površinske fiksacije prahu, izboljšano toplotno prevodnostjo in uravnoteženo porazdelitvijo toplote. Prevleka na površini grafitnih sprejemnikov, ki se uporabljajo v okolju opreme MOCVD, mora imeti naslednje značilnosti:

1. Sposobnost, da popolnoma zapre grafitno osnovo z dobro gostoto, saj je grafitni susceptor dovzeten za korozijo v jedkih plinskih okoljih.

2. Močna vez z grafitnim suceptorjem, ki zagotavlja, da se prevleka po večkratnih ciklih visoke in nizke temperature ne loči enostavno.

3. Odlična kemična stabilnost, ki preprečuje, da bi premaz postal neučinkovit pri visokih temperaturah in jedkih atmosferah. SiC ima prednosti, kot so odpornost proti koroziji, visoka toplotna prevodnost, odpornost na toplotni šok in visoka kemična stabilnost, zaradi česar je idealen za delo v epitaksialnih atmosferah GaN. Poleg tega je koeficient toplotne razteznosti SiC zelo blizu koeficientu grafita, zaradi česar je prednostni material za prevleko površine grafitnih sprejemnikov.

Semicorex izdeluje grafitne prijemalke, prevlečene s CVD SiC, in izdeluje prilagojene dele SiC, kot so ladjice, konzolne lopatice, cevi itd. Če imate kakršna koli vprašanja ali potrebujete dodatne podrobnosti, ne oklevajte in stopite v stik z nami.

Kontaktna telefonska številka +86-13567891907

E-pošta: sales@semicorex.com